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詳細介紹
高分辨率膜厚測控儀的原理是：石英晶振片的振動頻率隨其表面所沉積膜的質(zhì)量不同而變化。根據(jù)這一特性，可以通過測量石英晶振片的振動頻率變化，以計算出沉積膜的質(zhì)量多少。再通過已知的膜密度和面積，而最終精確計算出所沉積膜的厚度。
性能參數(shù)：
| 膜厚范圍: | 0.0 - 999.9nm |
| 分 辨 率: | 0.1nm |
| 密度范圍: | 0.50 - |
| 修正因子: | 0.25 - 8.0 |
| 存儲功能: | 可存儲4組密度和修正因子數(shù)據(jù) |
| 鍍膜控制: | 可根據(jù)所設(shè)定的膜厚要求自動終止鍍膜過程 |
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