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JY-S100離子濺射儀(噴金儀)

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JY-S100離子濺射儀是一款結(jié)構(gòu)緊湊的桌上小型鍍膜系統(tǒng),特別適用于掃描電鏡成像中非導(dǎo)電樣品高質(zhì)量鍍膜

詳細(xì)介紹

JY-S100離子濺射儀是一款結(jié)構(gòu)緊湊的桌上小型鍍膜系統(tǒng),特別適用于掃描電鏡成像中非導(dǎo)電樣品高質(zhì)量鍍膜。

主要特性

l 通過高效低壓直流磁控頭進(jìn)行冷態(tài)精細(xì)的噴鍍過程,避免樣品表面受損。

l 操作容易快捷,控制的參數(shù)包括放氣以及氬氣換氣控制。

l 數(shù)字化的噴鍍電流控制不受樣品室內(nèi)氣壓影響,可得到一致的鍍膜速率和高質(zhì)量的鍍膜效果。

l 可使用多種金屬靶材:Au, Au/Pd,,Pt,,Pt/Pd(Au 靶為標(biāo)配),靶材更換快速方便。

技術(shù)參數(shù)


濺射系統(tǒng)

樣品倉(cāng)尺寸 120 x120mm

靶材

Au 靶為標(biāo)配,可選 Pt,直徑 57mm x 0.1mm 厚

標(biāo)準(zhǔn)樣品臺(tái)

可以裝載 12 個(gè) SEM 樣品座,高度可調(diào)范圍為 60mm

※旋轉(zhuǎn)傾斜樣品臺(tái)(選配)

旋轉(zhuǎn)速度:0~60rpm 連續(xù)可調(diào),傾斜角度:-90°~ 90°連續(xù)可調(diào);

不銹鋼腔體:直徑 120mm X 高 75mm;

觀察窗:直徑 120mm X 高 45mm;

標(biāo)配旋轉(zhuǎn)臺(tái)直徑 40mm,可放 4 個(gè)標(biāo)準(zhǔn)樣品臺(tái),其它規(guī)格可訂做;具有雙重鎖緊裝置,可確保樣品在旋轉(zhuǎn)傾斜時(shí)不會(huì)松動(dòng)脫落。

濺射電流

微處理器控制,安全互鎖,可調(diào),電流 5~30mA,程序化數(shù)字控制

計(jì)量表

真空: Atm - 1*10-3mbar,電流:0~99mA

控制方法

帶有“開始”“暫停”按鈕的微處理控制器(1-999s),自動(dòng)抽氣、濺射、關(guān)機(jī)后自動(dòng)放氣。

真空系統(tǒng)

抽氣速率

133L/MIN

極限真空

10-4 mbar 級(jí)

噪音

56dB

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