高頻輸出 50~500W 反應(yīng)腔 Φ215×305mm

低溫等離子·常規(guī)桶型。

PR500：手動(dòng)控制

PR510：自動(dòng)觸摸屏控制
此款低溫等離子灰化機(jī)采用自動(dòng)協(xié)調(diào)功能及觸摸屏操作（PR510）,提高了操作性及安全性,是一款小型緊湊型的等離子處理設(shè)備。

用途

●去除光刻膠
● 部品清洗
● 界面活性處理
● 微研磨
● 硅晶圓，玻璃基板對(duì)應(yīng)

特征

● 大口徑（Φ215mm）石英反應(yīng)腔
● 小型一體化設(shè)計(jì)
● 操作簡單的觸摸屏方式（PR510型）

內(nèi)槽

硅晶圓灰化狀態(tài)

等離子灰化機(jī)PR500/501規(guī)格