高頻輸出 100~1,000W（V1000）/100~1,000W&1,500W（V1000X/1000XS）

電極尺寸 280×280mm（V1000） 300×300mm（V1000X） 400×375mm（V1000XS）

使用等離子的表面處理裝置。著重于“使用簡單”的臺(tái)式高性能型號(hào)，調(diào)取數(shù)據(jù)簡單，以電子材料為中心，可對(duì)應(yīng)多種用途。

特征

● 可變更電極構(gòu)造提高等離子效果。
● 搭載高精度適配器，高性能RF 電源。
● 可根據(jù)需求規(guī)格提供定制。

用途
● 硅晶圓的灰化及蝕刻
● 基板表面污垢處理
● IC/LED封裝、BGA/CSP基板處理
● 半導(dǎo)體相關(guān)部品的電子材料的干式清洗
● 自然氧化膜·有機(jī)物去除
● 界面活性處理
● 表面污染物去除

內(nèi)槽

規(guī)格

管路連接圖