詳細(xì)介紹
| 特性:
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應(yīng)用:
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| 主要規(guī)格: 輸出信號:A /B正交方波和Z相索引信號 相移:90 ± 45° 工作周期:180 ± 50° 分辨率:75um到37nm 速度:0到10mm/s(分辨率37nm),11m/s(分辨率75um) 供電電壓電流:5V+/-0.5V,30mA 使用溫度:-40到125℃ 間隙:標(biāo)準(zhǔn)0.2mm , 0.6mm | | ||||||||||||
| 尺帶:
可根據(jù)要求定制其他尺寸和自定義比例的尺帶。 | | ||||||||||||
| Evaluation and Programming Tool The evaluation and programming tool 由接口板和軟件組成,可讓您:
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