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molbloc-L 層流元件

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產(chǎn)品簡介

用于1sccm到100slm流量的層流元件molbloc-L是與molbox質(zhì)量流量終端結(jié)合使用的層流元件

詳細(xì)介紹

用于 1 sccm 到 100 slm 流量的層流元件

molbloc-L 是與 molbox 質(zhì)量流量終端結(jié)合使用的層流元件。molbloc 流量路徑位于 molbloc 內(nèi),是活塞與結(jié)合緊密的汽缸體之間的縱向環(huán)形間隙。通過調(diào)整這個(gè)間隙的尺寸,可獲得不同的 molbloc 量程。對于高流量量程(1E4 尺寸及以上),需要使用配有更大活塞的更大 molbloc 機(jī)體。

特性一覽

  • 可與現(xiàn)有的 molbox1+ 和 molbox RFM 質(zhì)量流量終端以及 COMPASS 軟件結(jié)合使用
  • 整合了過濾器,可保護(hù)其免受污染
  • 完整的氣體溫度調(diào)節(jié)和測量
  • 連續(xù)、實(shí)時(shí)的讀數(shù)
  • 可以實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)
  • 無活動(dòng)部件

molbloc-L 量程
molbloc 尺寸由一些相對于標(biāo)稱流量阻抗的數(shù)字指定。在 250 kPa 絕壓 (36 psia) 上游壓力和 50 kPa (7.5 psid) 壓力差的情況下,當(dāng)?shù)獨(dú)饬鹘?jīng) molbloc 時(shí),標(biāo)稱阻抗可產(chǎn)生標(biāo)稱流量量程。在實(shí)踐中,molbloc 流量量程可能與標(biāo)稱流量量程差別很大。這些差別來自氣體之間的密度和粘性之間的差別,也來自不同的 molbloc 工作壓力校準(zhǔn)選項(xiàng)。

技術(shù)指標(biāo) - 標(biāo)準(zhǔn) molbloc-L 校準(zhǔn) - 與 molbox1+ 終端結(jié)合使用

測量更新速率 1 秒
范圍 從 0 到 molbloc 滿刻度,取決于氣體和 molbloc 壓力
取決于校準(zhǔn)類型(請參閱第 1.2.5.1.3 節(jié))
分辨率 0.0015 % FS
線性 ±0.05% 讀數(shù),從 10% 到 99% FS
±0.005% FS,在 10% FS 以下
重復(fù)性 ±0.05% 讀數(shù),從 10% 到 99% FS
±0.005% FS,在 10% FS 以下
精確度1 ±0.07% 讀數(shù),從 10% 到 99% FS
10% FS 下為 ±0.007% FS
穩(wěn)定度2
(1 年期)
±0.09% 讀數(shù),從 10% 到 99% FS
10% FS 下為 ±0.009% FS
測量不確定度3 ±0.2% 讀數(shù),從 10% 到 99% FS
10% FS 下為 ±0.02% FS
(N2 和 molbox1+ 支持且 molbloc 校準(zhǔn)時(shí)使用的任意氣體) 1E5 molbloc
±0.5% 讀數(shù),從 25% 到 99% FS
±0.125% FS,在 25% FS 以下
1 精確度:包含線性度、遲滯和可重復(fù)性。
2 穩(wěn)定度:典型 molbox1+ 和 molbloc 在典型環(huán)境下使用時(shí)特定時(shí)間段內(nèi)從零到范圍值的變化情況。由于穩(wěn)定度只能是一種預(yù)測,因此應(yīng)該根據(jù)經(jīng)驗(yàn)建立特定 molbloc 和 molbox1+ 的穩(wěn)定度。
3 測量不確定度(精確度):molbox1+ 流量指示相對于通過 molbloc 的流量真值的偏差,包括精確度、穩(wěn)定度和福祿克公司計(jì)量校準(zhǔn)部的標(biāo)準(zhǔn)測量不確定度。

技術(shù)指標(biāo) - 特級 molbloc-L 校準(zhǔn) - 與 molbox1+ 終端結(jié)合使用

測量更新速率 1 秒
范圍 從 0 到 molbloc 滿刻度,取決于氣體和 molbloc 壓力 取決于校準(zhǔn)類型(請參閱第 1.2.5.1.2 節(jié))
分辨率 0.0015 % FS
線性 ±0.05% 讀數(shù),從 10% 到 99% FS
±0.005% FS,在 10% FS 以下
重復(fù)性 ±0.05% 讀數(shù),從 10% 到 99% FS
±0.005% FS,在 10% FS 以下
精確度1 ±0.07% 讀數(shù),從 10% 到 99% FS
10% FS 下為 ±0.007% FS
穩(wěn)定度2
(1 年期)
±0.03% 讀數(shù),從 10% 到 99% FS
10% FS 下為 ±0.003% FS
測量不確定度3 ±0.125% 讀數(shù),從 10% 到 99% FS
10% FS 下為 ±0.0125% FS
(N2 和 molbox1+ 支持且 molbloc 校準(zhǔn)時(shí)使用的任意氣體) 1E5 molbloc-L 特級校準(zhǔn)不可用
1 精確度:包含線性度、遲滯和可重復(fù)性。
2 穩(wěn)定度:典型 molbox1+ 和 molbloc 在典型環(huán)境下使用時(shí)特定時(shí)間段內(nèi)從零到范圍值的變化情況。由于穩(wěn)定度只能是一種預(yù)測,因此應(yīng)該根據(jù)經(jīng)驗(yàn)建立特定 molbloc 和 molbox1+ 的穩(wěn)定度。
3 測量不確定度(精確度):molbox1+ 流量指示相對于通過 molbloc 的流量真值的偏差,包括精確度、穩(wěn)定度和福祿克公司計(jì)量校準(zhǔn)部的標(biāo)準(zhǔn)測量不確定度。

技術(shù)指標(biāo) - 標(biāo)準(zhǔn) molbloc-L 校準(zhǔn) - 與 molbox RFM 終端結(jié)合使用

molbloc-L(量程從 1E1-L 到 3E4-L)
測量更新速率 1 秒
范圍 從 0 到 molbloc 滿刻度,取決于氣體和 molbloc 壓力,取決于校準(zhǔn)類型(請參閱 molbloc-L 量程表)
分辨率 0.01% FS
線性 ±0.23% 讀數(shù),從 10% 到 99% FS;±0.023% FS,在 10% FS 以下
重復(fù)性 ±0.1% 讀數(shù),從 10% 到 99% FS;±0.01% FS,在 10% FS 以下
精確度1 ±0.25% 讀數(shù),從 10% 到 99% FS;±0.025% FS,在 10% FS 以下
預(yù)測的穩(wěn)定度2
(一年期)
±0.15% 讀數(shù),從 10% 到 99% FS;±0.015% FS,在 10% FS 以下
測量不確定度3 ±0.5% 讀數(shù),從 10% 到 99% FS;±0.05% FS,在 10% FS 以下

具有微量程選項(xiàng)的 molbox RFM

molbloc-L(量程從 1E1-L 到 3E4-L) molbloc-L(量程僅僅是 1E5)
測量更新速率 1 秒 1 秒
范圍 從 0 到 molbloc 滿刻度,取決于氣體和 molbloc 壓力,取決于校準(zhǔn)類型(請參閱 molbloc-L 表) 從 0 到 molbloc 滿刻度,取決于氣體和 molbloc 壓力,取決于校準(zhǔn)類型(請參閱 molbloc-L 表)
分辨率 0.01 % FS,在 0.001 % FS 以下;0.001 % FS,在 10% FS 以下 0.01% FS
線性 ±0.23% 讀數(shù),從 1% 到 99% FS
±0.0023% FS,在 1% FS 以下
±0.25% 讀數(shù),從 5% 到 99% FS;±0.0125% FS,在 5% FS 以下
重復(fù)性 ±0.1% 讀數(shù),從 1% 到 99% FS;±0.001% FS,在 1% FS 以下 ±0.2% 讀數(shù),從 5% 到 99% FS;±0.01% FS,在 5% FS 以下
精確度1 ±0.25% 讀數(shù),從 1% 到 99% FS;±0.0025% FS,在 1% FS 以下 ±0.32% 讀數(shù),從 5% 到 99% FS;±0.016% FS,在 5% FS 以下
預(yù)測的穩(wěn)定度2
(一年期)
±0.15% 讀數(shù),從 1% 到 99% FS;±0.0015% FS,在 1% FS 以下 ±0.2% 讀數(shù),從 5% 到 99% FS;±0.01% FS,在 5% FS 以下
測量不確定度3 ±0.5% 讀數(shù),從 1% 到 99% FS;±0.005% FS,在 1% FS 以下 ±0.5% 讀數(shù),從 5% 到 99% FS;±0.025% FS,在 5% FS 以下
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