產(chǎn)品介紹INTRODUCTION

ParkNX-Hivac允許故障分析工程師通過(guò)高真空SSRM提高測(cè)量的靈敏度和分辨率。高真空掃描能提供比大氣或干燥的N2條件下更高的精度、更好的可重復(fù)性，還能減少針尖和樣品的損傷，用戶從而可以在失效分析應(yīng)用中測(cè)量更廣闊范圍的涂料濃度和信號(hào)響應(yīng)。

在高真空條件下進(jìn)行SSRM（ScanningSpreading-ResistanceMicroscopy-掃描擴(kuò)展電阻顯微鏡）測(cè)量能夠減少所需的針尖-樣品相互作用力，這可顯著減少對(duì)樣品和針尖的損傷，并能延長(zhǎng)每個(gè)針尖的壽命，使掃描更方便，并能通過(guò)提高空間分辨率和信噪比從而提供更準(zhǔn)確的結(jié)果。高吞吐量、低成本、高精度使得NX-Hivac成為為故障分析工程師提供的高真空SSRM測(cè)量的選擇。

特點(diǎn)FEATURES

NX-Hivac可將用戶所需的輸入操作最簡(jiǎn)化，用戶可以更快地掃描從而提高實(shí)驗(yàn)室的實(shí)驗(yàn)成果。

包含機(jī)動(dòng)平臺(tái)的StepScan自動(dòng)化StepScan為用戶提供了對(duì)設(shè)備進(jìn)行編程的能力，以快速且簡(jiǎn)單地對(duì)多個(gè)區(qū)域進(jìn)行成像。

NX-Hivac只需用戶嘗試五個(gè)操作步驟掃描樣本：掃描、提升懸臂、將機(jī)動(dòng)平臺(tái)移動(dòng)到用戶定義的坐標(biāo)、進(jìn)針和重復(fù)。這極大地提高了測(cè)量效率，并將所需的用戶輸入操作減少到限度。

機(jī)動(dòng)激光校準(zhǔn)

帕克的機(jī)動(dòng)式激光束校準(zhǔn)模塊允許用戶在無(wú)需輸入任何操作的情況下自由地進(jìn)行自動(dòng)測(cè)量程序。利用我們*的預(yù)對(duì)準(zhǔn)懸臂架，激光束在探針交換時(shí)聚焦在懸臂上。然后通過(guò)電動(dòng)定位旋鈕沿X軸和Y軸優(yōu)化激光光斑位置。

易操作的原子力顯微鏡軟件

無(wú)論您的AFM需求集中在學(xué)術(shù)研究，還是工業(yè)計(jì)量或故障分析，NX-Hivac的智能掃描自動(dòng)模式都提供了一個(gè)流水線系統(tǒng)，以生成高質(zhì)量的AFM數(shù)據(jù)。SmartScan還可幫助初次使用的學(xué)者在短時(shí)間內(nèi)獲得高質(zhì)量數(shù)據(jù)。

NX-H ivac真空環(huán)境下自動(dòng)控制

高真空度由Hivac Manger控制，通過(guò)單擊按鈕進(jìn)行邏輯和視覺(jué)控制，為優(yōu)化真空條件和排氣過(guò)程提供泵送。

每個(gè)過(guò)程都通過(guò)顏色和示意圖變化進(jìn)行可視化監(jiān)控，用戶無(wú)需擔(dān)心單擊按鈕后真空操作的順序。既迅速又便捷的真空控制軟件為用戶帶來(lái)易于使用的原子力顯微鏡操作和更好的測(cè)量效率。

NX-H ivac是精確的高性能原子力顯微鏡，它也是最容易使用和方便用于失效分析的原子力顯微鏡之一。Park NX-Hivac可幫助用戶提高測(cè)量效率并且信任您的測(cè)量結(jié)果。

閉環(huán)XY和Z軸掃描儀

為樣品和探針針尖而采用的兩個(gè)獨(dú)立的閉環(huán)XY和Z撓曲掃描儀，可保證用戶的掃描非常精確。

NX-Hivac提供平面和正交的XY掃描，低殘余彎曲，在整個(gè)掃描范圍內(nèi)提供小于1nm的平面外運(yùn)動(dòng)。

NX-H ivac還具有15μm掃描范圍的高速Z軸掃描儀，Z軸掃描儀的非線性度小于0.5%。這提供了精確的2D和3D測(cè)量，而再也不需要軟件處理。

低噪聲XYZ位置傳感器

NX-Hivac的特色是Park AFM的行業(yè)的低噪聲Z探測(cè)器，它能夠精確地測(cè)量樣品形貌，而低噪聲XY閉環(huán)掃描將前后掃描間隙最小化到小于掃描范圍的0.15%。

24位數(shù)字電子

使用NX-Hivac中的NX系列標(biāo)志的電子控制器，可使浪費(fèi)的時(shí)間最小化，精度。我們的控制器是一個(gè)全數(shù)字，24位高速設(shè)備，它的真正非接觸模式使用戶能夠執(zhí)行廣泛的掃描范圍。該控制器具有低噪聲設(shè)計(jì)和高速處理單元，可滿足精密電壓和電流測(cè)量以及納米級(jí)成像。嵌入式電子器件還具有數(shù)字信號(hào)處理的特點(diǎn)，允許用戶容易地分析測(cè)量和成像。