特點(diǎn) 在程序運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)、可進(jìn)行真空泵連動(dòng)的自動(dòng)程序運(yùn)轉(zhuǎn)。本體內(nèi)可收納真空泵。高品質(zhì)控制器、獨(dú)立過升防止器，具備優(yōu)良的操作性和安全性。停電時(shí)裝置內(nèi)保持真空，配備有真空泵油逆流防止的瞬停模式。由于主閥采用了1英寸的大口徑真空電磁閥，沒有排氣損失。安裝有自動(dòng)/手動(dòng)切換開關(guān)，緊急情況時(shí)可進(jìn)行手動(dòng)操作。擁有自診斷回路、過升防止器、按鍵鎖等安全功能。為安全起見，在觀測(cè)窗上安裝有樹脂制成的保護(hù)面板。