詳細(xì)介紹
FS5001L系列氣體質(zhì)量流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測(cè)量和過程控制而設(shè)計(jì)的。這一系列傳感器均采用本公司自主研發(fā)的微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)流量傳感器芯片來制作,適用于各類清潔、干燥氣體。傳感器采用標(biāo)貼式安裝,使安裝尺寸更加緊湊,可以很容易的實(shí)現(xiàn)在小空間內(nèi)的多傳感器集成。
測(cè)量范圍:200SCCM,500SCCM,1000SCCM,4000SCCM,6000SCCM 可選。
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