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杭州克柔姆色譜科技有限公司>>>>GC-126PDD/AsH3AsH3/砷烷分析氦離子氣相色譜儀

AsH3/砷烷分析氦離子氣相色譜儀

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  • 型號(hào) GC-126PDD/AsH3
  • 品牌
  • 廠商性質(zhì) 其他
  • 所在地 杭州市

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更新時(shí)間:2023-01-24 09:53:14瀏覽次數(shù):356

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產(chǎn)品簡介

系統(tǒng)依據(jù)的相關(guān)標(biāo)準(zhǔn):GB/T26250-2010電子工業(yè)用氣休GC-126PDD氦離子化氣相色譜儀適用于高純氣體、超高純氣體及電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測

詳細(xì)介紹

系統(tǒng)依據(jù)的相關(guān)標(biāo)準(zhǔn):

GB/T 26250-2010 電子工業(yè)用氣休

    GC-126PDD氦離子化氣相色譜儀適用于高純氣體、超高純氣體及電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測。該產(chǎn)品以GC-126氣相色譜儀為載體,配備VALCO公司生產(chǎn)的氦離子化(PDHID)檢測器;采用克柔姆公司擁有專業(yè)技術(shù)的四閥五柱的中心切割與反吹技術(shù),其中的所有進(jìn)樣和切換閥均為VALCO公司生產(chǎn)的帶吹掃保護(hù)氣路的六通或十通閥;上述部分與VALCO公司原裝的氦氣純化器、無死體積取樣閥等部件一起組成一套完整的高純氣體分析解決方案。
    高純氣體的分析是一個(gè)復(fù)雜的過程,不僅需要高靈敏的檢測器,還要考慮樣品本身的特性及其背景,如吸附、取樣及分析過程中是否有空氣混入、系統(tǒng)的密閉性、系統(tǒng)的死體積等環(huán)節(jié),克柔姆色譜公司總結(jié)了高純氣體分析過程中的技術(shù)難點(diǎn),并給出了所有難點(diǎn)的解決措施,使GC-126PDD氦離子化氣相色譜儀成為
工業(yè)氣體行業(yè)的高純氣體分析系統(tǒng),很好的完成了氣體中微量雜質(zhì),特別是ppb級(jí)的雜質(zhì)的分析。

Items/檢測項(xiàng)目一:  N 2 ≤ 0.20ppm, O 2≤ 0.02 ppm , Ar≤ 0.02 ppmv ,SiH 4≤ 0.02ppmv;  

                       CO2≤ 0.02ppmv CO≤ 0.03ppmv ,H2S ≤ 0.0 3 ppmv , C1~C2≤ 0.0 5 ppmv ,

                        GeH4(鍺烷)、 SiH4(硅烷)、 PH3(磷烷)、H2S

進(jìn)樣與反吹系統(tǒng): 吹掃十通閥2只; 吹掃六通閥3只;

閥體選:采用VICI 316L不銹鋼材質(zhì); 氣路管線: 1/16或1/8采用VICI 316L材質(zhì)

儀器主要應(yīng)用于6N砷烷氣體中微量雜質(zhì)的分析,具體內(nèi)容詳見下表:

氣體種類

需分析特氣的雜質(zhì)種類

He

H2

O2/Ar

N2

CH4

CO

CO2

H2S

 C2、SiH4、 PH3、GeH4、Ge2H6、C3、C4

儀器的最小

檢測限(PPb)

5

5

5

5

15

5

20-30

5-10

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