產(chǎn)品名稱

小型二通道混氣系統(tǒng)（質(zhì)子流量計(jì)）GSL-2Z-LCD-S

基本參數(shù)

工作溫度：5~45℃。

壓力：0.3MPa。

精度：±1.5% FS

重復(fù)精度：±0.2% F.S。

流量范圍：

一路：1-99 SCCM

二路：1-199 SCCM（其他流量范圍可定制）

注意：其他流量范圍的可定制，需額外費(fèi)用。

輸入電源

AC 220V,50/60Hz

功率

100W

PLC觸摸屏

各通道的氣路設(shè)定和查看都集中在一觸摸屏上

混氣罐

內(nèi)置一個(gè)不銹鋼混氣罐，可以良好的混氣。

機(jī)械壓力表

有一機(jī)械壓力表安裝于前面板上，與混氣罐相連接。

量程：-.01~0.12MPa

針閥

316不銹鋼

通氣管道

內(nèi)部連接管道為1/4" 不銹鋼管。

外部通氣管為1/4"聚四氟管。

外形尺寸

360L×300D×190H mm

產(chǎn)品重量

8.4Kg

質(zhì)量認(rèn)證

CE認(rèn)證

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期，終生維護(hù)。

相關(guān)產(chǎn)品

CVD&PECVD管式爐

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