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微量溶解分析儀在電子行業(yè)中的應用

發(fā)布時間:2023-3-25

  在半導體行業(yè),對微量溶解氧有嚴格的要求,若純水微量溶解氧超標,會造成產品污染而影響產品品質,因此需要嚴格控制溶解氧含量。半導體行業(yè)一般選用脫氣膜去除溶解氧,通過憎水纖維膜將液相和氣相分開,在氣相抽真空,使得氣體被去除,液相中的氣體就會擴散到氣相中,從而達到去除溶解性氣體的作用。

  

  電子廠純水工藝段在脫鹽后及終端分配單元前安裝了脫氣膜工藝,現(xiàn)場溶解氧控制指標要求小于 10ppb。

  

  現(xiàn)場安裝了微量溶解氧分析儀,用于實時監(jiān)測脫氣膜后的溶解氧含量,現(xiàn)場儀表所測得的溶解氧數(shù)據(jù)穩(wěn)定準確,維持在 7~9ppb范圍內。

  

  針對客戶現(xiàn)場工藝控制要求,Orb410+GA2400 微量溶解氧分析儀是一個很好的選擇。GA2400 專門為微量溶解氧在線監(jiān)測設計,其響應能力快速(7.2S),重現(xiàn)性良好,維護操作簡單,不銹鋼設計堅固耐用,適用于電子行業(yè)純水溶解氧在線監(jiān)測。

  

  溶解氧是電子行業(yè)重要的監(jiān)測指標,其含量高低將直接影響終端產品品質。在正常的維護情況下,GA2400 微量溶解分析儀響應迅速,重現(xiàn)性及檢出限滿足現(xiàn)場測量需求,校準快速,維護簡單,是一款用于純水溶解氧監(jiān)測的高性價比的在線儀表。


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