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參考價(jià)	面議

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

JJF2160-2024激光共聚焦顯微鏡校準(zhǔn)規(guī)范標(biāo)準(zhǔn)球貨號(hào)：AUBAT-G2160形狀誤差≦0.3μm直徑(0.3-5)mm一維標(biāo)準(zhǔn)立體柵格貨號(hào)：AUBAT-YW1000柵格平均間距(5~20)μmU≦0.5%，k=2

詳細(xì)介紹

JJF2160-2024激光共聚焦顯微鏡校準(zhǔn)規(guī)范
標(biāo)準(zhǔn)球
貨號(hào)：AUBAT-G2160
形狀誤差≦0.3μm
直徑(0.3-5)mm

一維標(biāo)準(zhǔn)立體柵格
貨號(hào)：AUBAT-YW1000
柵格平均間距(5~20)μm U≦0.5%，k=2；
柵格平均間距(500~5000)nm U≦1%，k=2；

二維標(biāo)準(zhǔn)立體柵格
貨號(hào)：AUBAT-RW2000
柵格平均間距20μm，U≦0.5%，k=2；
柵格平均間距10μm，U≦0.5%，k=2；

標(biāo)準(zhǔn)臺(tái)階
AUBAT-NT100

標(biāo)準(zhǔn)臺(tái)階高度/溝槽深度(200~10000)nm，U≦1%,k=2；

標(biāo)準(zhǔn)凹槽
AUBAT-AT200
標(biāo)準(zhǔn)臺(tái)階高度/溝槽深度(200~10000)nm，U≦1%,k=2；

本規(guī)范適用于激光共聚焦顯微鏡的校準(zhǔn)，其他基于共聚焦原理的顯微鏡校準(zhǔn)也可參照本規(guī)范。激光共聚焦顯微鏡利用共軛點(diǎn)照明、點(diǎn)探測(cè)原理，通過(guò)激光逐點(diǎn)照明掃描和空間針孔調(diào)制技術(shù)獲取光學(xué)層析圖像，從而得到被測(cè)物體二維圖像或三維表面形貌參數(shù)的儀器。共聚焦顯微鏡具有多種照明約束和探測(cè)形式，被廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、微納米加工、半導(dǎo)體器件和生命科學(xué)等領(lǐng)域。

計(jì)量特性
1 水平方向長(zhǎng)度測(cè)量誤差：不超過(guò)±5%
2 垂直方向長(zhǎng)度測(cè)量誤差：不超過(guò)±5%
3 水平方向長(zhǎng)度測(cè)量重復(fù)性：不超過(guò)2%
4 垂直方向長(zhǎng)度測(cè)量重復(fù)性：不超過(guò)2%
5 水平方向正交誤差：不超過(guò)1%
6 畸變：不超過(guò)±10%
7 *大可測(cè)傾角:20°~80°
8 水平方向拼接誤差:不超過(guò)10%
9 垂直方向拼接誤差：不超過(guò)10%
10 載物臺(tái)定位誤差：不超過(guò)0.05mm