研磨面平尺

直徑：300mm 500mm

精度：平面度0.3μm

規(guī)程通用檢定校準(zhǔn)器具：

JJG343-2012光滑極規(guī)檢定規(guī)程MPEV:0.15μm；

JJF1890-2021直線度測量儀校準(zhǔn)規(guī)范；

JJG661-2004平面等傾干涉儀檢定規(guī)程；

JJG905-2010刮板細(xì)度計(jì)檢定規(guī)程0.4μm；

JJG63-2007刀口形直尺檢定規(guī)程；

JJG7-2004直角尺檢定規(guī)程≦1μm；

JJF1140-2006直角尺檢查儀校準(zhǔn)規(guī)范；

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