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詳細(xì)介紹
一等或二等φ150mm標(biāo)準(zhǔn)平面平晶
JJF1100-2016平面等厚干涉儀校準(zhǔn)規(guī)范
貨號：AUBAT-PH150
標(biāo)準(zhǔn)平面平晶（二等 150mm 帶防護(hù)箱盒）
JJF1100-2016平面等厚干涉儀校準(zhǔn)規(guī)范適用于平面等厚干涉的校準(zhǔn)，采用等厚光波干涉原理，用于物體表面平面度測量(或檢測)的光學(xué)儀器。按儀器結(jié)構(gòu)分為不帶標(biāo)準(zhǔn)平面平晶和帶標(biāo)準(zhǔn)平面平晶的兩種平面等厚干涉儀。
計(jì)量特性
1 干涉條紋間距測量的重復(fù)性
干涉條紋間距測量的重復(fù)性一般不超過±0.020mm。
2 測微目鏡的示值誤差次
在任意1mm內(nèi)*大允許誤差:±0.005mm，在全程8mm內(nèi)*大允許誤差:±0.010mm.
3 物鏡系統(tǒng)引起的干涉條紋彎曲量
在視場直徑方向兩側(cè)1mm 內(nèi)干涉條紋彎曲量*大允許誤差:±0.010mm，其余部分*大允許誤差:±0.020 mm。
4 儀器的示值誤差
儀器示值*大允許誤差:±0.020μm。
校準(zhǔn)方法：
1 干涉條紋間距測量的重復(fù)性
將兩塊標(biāo)準(zhǔn)平面平晶置于儀器工作臺上，通過調(diào)整兩塊標(biāo)準(zhǔn)平面平晶工作面之間紙墊，在測微目鏡視場中形成(3~5)條干涉條紋。用測微目鏡內(nèi)十字線的垂直線段與視場中某一干涉條紋對準(zhǔn)，在鼓輪上讀出數(shù)據(jù)a，再轉(zhuǎn)動(dòng)鼓輪移動(dòng)垂直線段到相鄰一條干涉條紋并對準(zhǔn)，讀出數(shù)據(jù)a2，用|a2-a1|得到干涉條紋的間距。在上述二條干涉條紋重復(fù)以上步驟9次，共得到10個(gè)干涉條紋間距測得值。若某一干涉條紋的間距測得值與其平均值之差超過2倍標(biāo)準(zhǔn)偏差。以標(biāo)準(zhǔn)偏差作為測得值。
2. 儀器的示值誤差
a) 儀器示值誤差用二塊一等標(biāo)準(zhǔn)平面平晶按其兩測量截面一 一對應(yīng)分別進(jìn)行測量。并減去標(biāo)準(zhǔn)平面平晶對應(yīng)測量截面的實(shí)際值作為測量值，再重復(fù)上述步驟并以兩次測量值的平均值為儀器示值誤差的測得值。
b) 平面等厚干涉儀也可用三塊二等標(biāo)準(zhǔn)平面平晶按互檢法測量，得到三個(gè)測量值。分別去除相應(yīng)標(biāo)準(zhǔn)器平面度的影響，再取其平均值作為測量值。
JJF1100-2016平面等厚干涉儀校準(zhǔn)規(guī)范
貨號：AUBAT-PH150
標(biāo)準(zhǔn)平面平晶（二等 150mm 帶防護(hù)箱盒）
校準(zhǔn)：干涉條紋間距測量的重復(fù)性；儀器示值誤差；
JJF1100-2016平面等厚干涉儀校準(zhǔn)規(guī)范適用于平面等厚干涉的校準(zhǔn)，采用等厚光波干涉原理，用于物體表面平面度測量(或檢測)的光學(xué)儀器。按儀器結(jié)構(gòu)分為不帶標(biāo)準(zhǔn)平面平晶和帶標(biāo)準(zhǔn)平面平晶的兩種平面等厚干涉儀。
計(jì)量特性
1 干涉條紋間距測量的重復(fù)性
干涉條紋間距測量的重復(fù)性一般不超過±0.020mm。
2 測微目鏡的示值誤差次
在任意1mm內(nèi)*大允許誤差:±0.005mm，在全程8mm內(nèi)*大允許誤差:±0.010mm.
3 物鏡系統(tǒng)引起的干涉條紋彎曲量
在視場直徑方向兩側(cè)1mm 內(nèi)干涉條紋彎曲量*大允許誤差:±0.010mm，其余部分*大允許誤差:±0.020 mm。
4 儀器的示值誤差
儀器示值*大允許誤差:±0.020μm。
校準(zhǔn)方法：
1 干涉條紋間距測量的重復(fù)性
將兩塊標(biāo)準(zhǔn)平面平晶置于儀器工作臺上，通過調(diào)整兩塊標(biāo)準(zhǔn)平面平晶工作面之間紙墊，在測微目鏡視場中形成(3~5)條干涉條紋。用測微目鏡內(nèi)十字線的垂直線段與視場中某一干涉條紋對準(zhǔn)，在鼓輪上讀出數(shù)據(jù)a，再轉(zhuǎn)動(dòng)鼓輪移動(dòng)垂直線段到相鄰一條干涉條紋并對準(zhǔn)，讀出數(shù)據(jù)a2，用|a2-a1|得到干涉條紋的間距。在上述二條干涉條紋重復(fù)以上步驟9次，共得到10個(gè)干涉條紋間距測得值。若某一干涉條紋的間距測得值與其平均值之差超過2倍標(biāo)準(zhǔn)偏差。以標(biāo)準(zhǔn)偏差作為測得值。
2. 儀器的示值誤差
a) 儀器示值誤差用二塊一等標(biāo)準(zhǔn)平面平晶按其兩測量截面一 一對應(yīng)分別進(jìn)行測量。并減去標(biāo)準(zhǔn)平面平晶對應(yīng)測量截面的實(shí)際值作為測量值，再重復(fù)上述步驟并以兩次測量值的平均值為儀器示值誤差的測得值。
b) 平面等厚干涉儀也可用三塊二等標(biāo)準(zhǔn)平面平晶按互檢法測量，得到三個(gè)測量值。分別去除相應(yīng)標(biāo)準(zhǔn)器平面度的影響，再取其平均值作為測量值。
c) 用其他方法測量儀器的示值誤差時(shí)，應(yīng)參照附錄B“儀器示值誤差校準(zhǔn)不確定度評定示例"的評定方法進(jìn)行重新評定。
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