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產(chǎn)品簡介

提供硅片加工使用的倒角機(jī)，內(nèi)圓切片機(jī)等

詳細(xì)介紹

提供硅片加工使用的倒角機(jī)，內(nèi)圓切片機(jī)等。

　硅片剝離清洗機(jī)C-RW-200/300

特點(diǎn)1

從切片基座上自動剝離硅片，清洗并儲存到料盒

　倒角機(jī)W-GM-5200

	*新開發(fā)的磨削單元增強(qiáng)主軸精度，改善表面粗糙度
	采用非接觸測量系統(tǒng)，平穩(wěn)擺正硅片
	加工前進(jìn)行多點(diǎn)非接觸厚度，加工后進(jìn)行缺口深度及直徑測量
	模塊式設(shè)計(jì)優(yōu)化加工過程
	螺旋精磨系統(tǒng) (選項(xiàng)，**技術(shù)) 事項(xiàng)低損傷磨削

特點(diǎn)1

兼容300mm及200mm硅片倒角

特點(diǎn)2

提供邊緣及缺口面幅檢查的圖像處理系統(tǒng)（選項(xiàng)）

　倒角機(jī)W-GM-4200

	*新開發(fā)的磨削單元增強(qiáng)主軸精度，改善表面粗糙度
	采用非接觸測量系統(tǒng)，平穩(wěn)擺正硅片
	加工前進(jìn)行多點(diǎn)非接觸厚度，加工后進(jìn)行缺口深度及直徑測量
	模塊式設(shè)計(jì)優(yōu)化加工過程
	螺旋精磨系統(tǒng) (選項(xiàng)，**技術(shù)) 事項(xiàng)低損傷磨削

特點(diǎn)1

加工范圍為75 - 150 mm或150 - 200 mm

特點(diǎn)2

適用于多種材料加工，如化合物半導(dǎo)體

　Wafer Slicing Machine: S-LM-116G

精密切割硬脆材料如玻璃，陶瓷，磁性材料

特點(diǎn)1

使用16”刀片，易于調(diào)整，裝卸

特點(diǎn)2

敞開式安裝系統(tǒng)，易于裝夾工件

特點(diǎn)3

通過數(shù)字開光方便設(shè)置切片速度及硅片厚度

特點(diǎn)4

高剛性工作臺及堅(jiān)固的框架保證性能長期穩(wěn)定

特點(diǎn)5

冷卻水調(diào)整及修刀操作方便

　硅片劃片機(jī)A-WS-100S

高精度劃切硅片

特點(diǎn)1

易于調(diào)整?？梢栽谒郊靶D(zhuǎn)方向調(diào)整

特點(diǎn)2

易于進(jìn)行劃切調(diào)整。可以在觸摸按鍵設(shè)定步距數(shù)量，劃切次數(shù)等

硅片剝離清洗機(jī)

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硅片剝離清洗機(jī)

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