詳細介紹
JJF1916-2021掃描電子顯微鏡校準規(guī)范
貨號:AUBAT-1916S
等間距柵格標準樣板
一維柵格
測長示值誤差
二維柵格
正交畸變,線性失真度
校準用標準器 掃描電鏡校準項目所采用的標準樣板為等間距柵格標準樣板,包含 5 個以上周期根據(jù)所校準的放大倍數(shù),選取相應(yīng)的標準樣板,如表所示。
| 計量特性 | 標準樣板 | 放大倍數(shù) | *大允許誤差 |
| 測長示值誤差 | 50 nm~200 nm一維柵格 | 100 k~1 000 k | ±3% |
| 200 nm~400 nm一維柵格 | 20 k~100 k | ±3% | |
| 400 nm~300nm一維柵格 | 10 k~20 k | ±1% | |
| 1um~2μm一維柵格 | 3 k~10 k | ±1% | |
| 正交畸變,線性失真度 | 10 μm 二維柵格 | 500~2 k | ±1% |
| 10 μm 二維柵格 | 500~2 k | ±1% |
校準方法:
1 測長示值誤差
調(diào)整樣品臺,旋轉(zhuǎn)標準樣板使柵格的線條沿著豎直方向,柵格間距的測量方向沿著圖像的 X 軸。記錄掃描圖像以及對應(yīng)的放大倍數(shù)對圖像上 X 方向的柵格間距進行測量。連續(xù)測量 3 次,取平均值。對于放大倍數(shù)在 20 萬倍以上的測長示值誤差校準,L 可以只包含一個間距。使線條沿著圖像Y 軸、按照 X 方向柵格間距的測量方法來測量Y 方向的柵格間距。測量值與標準樣板實際值的差為測長示值誤差。
2 正交畸變
二維柵格樣板進行測量,將二維柵格標準樣板的圖像中水平線條調(diào)整為沿著 X 方向。選取 X、Y 方向 5 個間隔周期以上測量長度,用掃描電子顯微鏡的圖像測量軟件測量柵格圖像上橫向與縱向柵格方向的夾角,與標準樣板實際校準值的差即為校準結(jié)果。
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