JJF(滬蘇浙皖)4001-202微納米線間隔標準樣板校準規(guī)范

貨號：AUBAT-4001

二維柵格

JJF(蘇)246-2013微納米線間隔標準樣板校準規(guī)范(參考長三角技術(shù)規(guī)范JJF(滬)4001-2021)

校準項目和校準方法

平均線間隔

使用計量型掃描探針顯微鏡掃描被測樣板，掃描前應(yīng)確定與柵格結(jié)構(gòu)正交的掃描方向，沿正交掃描方向掃描樣板特征區(qū)域。選3 個測量區(qū)域，在每個測量區(qū)域內(nèi)進行掃描，掃描曲線數(shù)應(yīng)不少于 3 條，每條掃描曲線應(yīng)包含6 個以上線間隔；通過重心法，對每條曲線分別進行線間隔計算：選取每個刻線高度在中線以上的所有測量點坐標值，按公式得到該節(jié)測量方向上的重心坐標值。

二維柵格線的正交角度

進行二維線間隔正交性測量時，在有效測量區(qū)域采用面掃描或十字垂線的掃描方式進行平均線間隔的計算。分別記錄X 測量方向和Y測量方向各測量點的（X、Y）坐標值，并通過公式計算X、Y測量方向的斜率。如此連續(xù)測量 10 次，按式計算 10 次的平均值作為二維納米線間隔柵格樣板正交性的測量結(jié)果。

線間隔均勻性

以測量區(qū)域中心線為中心測量線，兩側(cè)分別取 5 條均勻分布的測量線，測量線間隔（d）根據(jù)測量區(qū)域的大小確定，以均勻覆蓋測量區(qū)域為原則。分別對每條測量線上的線間隔進行一次測量，以 11 條測量線間隔的實驗標準差作為線間隔均勻性的測量結(jié)果。