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JJF1092-2002顯微J測(cè)微表專(zhuān)用表架 檢定用圓柱

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JJF1092-2002光切顯微鏡校準(zhǔn)規(guī)范貨號(hào)AUBAT-1092G測(cè)微表專(zhuān)用表架檢定用圓柱單刻線樣板專(zhuān)用階梯量塊組計(jì)量特性1測(cè)微目鏡視場(chǎng)及示值誤差測(cè)微目鏡鼓輪指示零位時(shí),測(cè)微目鏡分劃板的毫米刻線應(yīng)套在雙刻線指標(biāo)內(nèi)

詳細(xì)介紹

JJF1092-2002光切顯微鏡校準(zhǔn)規(guī)范
貨號(hào)AUBAT-1092G
測(cè)微表專(zhuān)用表架
檢定用圓柱
單刻線樣板
專(zhuān)用階梯量塊組

計(jì)量特性
1 測(cè)微目鏡視場(chǎng)及示值誤差

測(cè)微目鏡鼓輪指示零位時(shí),測(cè)微目鏡分劃板的毫米刻線應(yīng)套在雙刻線指標(biāo)內(nèi)。在儀器視場(chǎng)中,狹縫像與被測(cè)物的像應(yīng)能同時(shí)調(diào)節(jié)清晰,并處于視場(chǎng),其清晰度范圍不應(yīng)小于 60%視場(chǎng)直徑范圍; 在目鏡視場(chǎng)中觀察線紋尺的像應(yīng)平行而對(duì)稱(chēng),不應(yīng)有明顯偏斜或扇形。

測(cè)微目鏡鼓輪在任意一周內(nèi)的示值誤差不超過(guò) 0.005mm,在全量程內(nèi)示值誤差不超過(guò) 0. 01mm。
2 狹縫像兩邊緣的直線度和平行度
狹縫像邊緣應(yīng)平直,不應(yīng)有目力可見(jiàn)的彎曲和缺口。狹縫像兩邊緣的平行度在目鏡視場(chǎng)中不超過(guò) 0.03mm。
3 工作臺(tái)縱橫向?qū)к壱苿?dòng)平面對(duì)工作臺(tái)表面的平行度
平面工作臺(tái)工作表面,在工作臺(tái)整個(gè)工作行程中任意 3mm 內(nèi)的平行度不超過(guò)0. 002mm.
V形塊的 V形槽工作表面,在工作臺(tái)整個(gè)工作行程內(nèi)的平行度不超過(guò) 0.005mm。
4 狹縫像在垂直方向的彎曲度
在使用 60X物鏡時(shí),不超過(guò) 0.007mm,在使用 30X物鏡時(shí),不超過(guò) 0.011mm。
5托架受 20N 側(cè)向力時(shí)引起物方像的位移
托架受 20N 側(cè)向力時(shí)引起物方像的位移不超過(guò) 0.05mm。當(dāng)外力去除后,物方像不返回原位的位移不超過(guò) 0.03mm。

校準(zhǔn)方法:
1.工作臺(tái)縱橫向?qū)к壱苿?dòng)平面對(duì)工作臺(tái)表面的平行度

在儀器的立柱上裝一分度值為 0.001mm 的測(cè)微表,并使測(cè)微表的測(cè)量頭與平面工作臺(tái)的一端相接觸,在縱橫向上分別移動(dòng)工作臺(tái)時(shí),觀察測(cè)微表的示值變化。然后將 V形塊安放在平面工作臺(tái)上,并將校準(zhǔn)用圓柱(圓柱度在 50m 長(zhǎng)度上不大于0.002mm)放在 V形槽內(nèi)。同樣使測(cè)微表的測(cè)量頭與圓柱*高點(diǎn)母線相接觸,移動(dòng)工作臺(tái)時(shí),觀察測(cè)微表的示值變化。測(cè)微表的示值變化即為平行度。


2.狹縫像在垂直方向上的彎曲度
在工作臺(tái)上放一量塊,調(diào)節(jié)儀器使在測(cè)微目鏡視場(chǎng)中部呈現(xiàn)清晰的狹縫像。然后在儀器的立柱上裝夾一千分表,使其測(cè)量頭與儀器托架相接觸。再次調(diào)節(jié)測(cè)微目鏡視場(chǎng)中部呈現(xiàn)清晰的狹縫像,讀出千分表的讀數(shù) al。再轉(zhuǎn)動(dòng)微調(diào)機(jī)構(gòu)分別調(diào)節(jié)狹縫像左、右二端清晰,讀出千分表的讀數(shù) a2,a3。a2 和 a 分別與  的差值即為縫像在垂直方向上左、右二端的彎曲度。注: 調(diào)節(jié)狹縫像左、右二端清晰時(shí),其清晰范圍均應(yīng)大于視場(chǎng)直徑的十分之一
3.儀器示值誤差
選用單刻線樣板校準(zhǔn)儀器示值誤差。先將單刻線樣板置于儀器工作臺(tái)上,然后調(diào)整儀器使單刻線樣板在視場(chǎng)內(nèi)出現(xiàn)清晰像,借助儀器工作臺(tái)的微分筒移動(dòng)單刻線樣板,使樣板的應(yīng)用段連同兩個(gè)記號(hào)一起呈現(xiàn)在狹縫清晰像的一邊,并使樣板的刻線方向與狹縫像的長(zhǎng)邊垂直。然后轉(zhuǎn)動(dòng)測(cè)微目鏡鼓輪使水平線平行于狹縫像的邊緣,再次調(diào)節(jié)儀器使樣板表面的像達(dá)到*清晰,轉(zhuǎn)動(dòng)測(cè)微鼓輪使測(cè)微目鏡水平線與樣板刻線表面的像重合,讀出測(cè)微鼓輪的**次讀數(shù)。然后轉(zhuǎn)動(dòng)測(cè)微鼓輪使測(cè)微目鏡十字線的水平線與樣板刻線底部的像重合,讀出測(cè)微鼓輪的**次讀數(shù)。在測(cè)量樣板的刻線深度時(shí)應(yīng)進(jìn)行三次調(diào)焦,各次調(diào)焦要進(jìn)行三次讀數(shù),樣板的刻線深度取 9 次測(cè)得深度的平均值。

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