詳細介紹
貨號AUBAT-661D
長平晶
210mm 1級長平晶;檢定鋼球支承架的工作性能,兩個直徑方向達到 5 個干涉級數(shù);
標(biāo)準干涉儀直徑測量的標(biāo)準偏差,應(yīng)不超過 0.01mm。;
干涉環(huán)環(huán)小數(shù)干涉級測量的重復(fù)性,應(yīng)小于 0.025 個干涉級數(shù)。
300mm 平面度:0.0004mm;檢定工作臺移動的直線度;
平面等傾干涉儀是一種用于平面量值傳遞的標(biāo)準計量器具,主要用于檢定尺寸較大的平晶、各種尺寸的長平晶和標(biāo)準平尺等的平面度。
工作臺移動的直線度
在工作臺上放一尺寸 300mm 的研磨平尺,且與工作臺運動方向平行,用磁性表架上的百分表與工作面接觸,對好零位,工作臺從一端移至另一端,在百分表讀出*大示值與*小示值,*大示值與*小示值之差為直線度。在全行程范圍內(nèi)檢定。工作臺移動的扭擺和回轉(zhuǎn)運動的擺動是通過目鏡觀察干涉環(huán)中心的位置變化來確定的,干涉環(huán)中心的位置不允許有目力可見的變化。
鋼球支承架的工作性能
按檢定平晶和長平晶的要求放置平晶或長平晶及其支架,分別移動和轉(zhuǎn)動工作臺,并觀察干級數(shù)的變化。干涉環(huán)的清晰度不得有目力可見的變化。工作臺移動的示值誤差及回程誤差
將尺寸等于 500mm 的鋼直尺或 300mm 的玻璃標(biāo)尺放在工作臺上,取下測微目鏡,接上接長管,調(diào)整測微目鏡的位置,在視場內(nèi)能清晰看到刻度尺上的刻線: 調(diào)整刻度尺使其刻線末端連線與工作臺運動方向平行:調(diào)整工作臺位置和測微目鏡分劃板,使刻度尺零刻線與目鏡分劃板上的十字線重合,再將手輪的 10mm 指示盤及 0.1mm 指示盤的零線都與指標(biāo)線對準,然后每隔 50mm 用測微目鏡對準,從手輪上讀數(shù),讀數(shù)值與實際值之差即為該點的示值誤差。對于 300mm 的玻璃標(biāo)尺在檢完 300mm 后,可在 300mm位置上把刻度尺移 300mm,并使零刻線與分劃板上的十字對準,依次再檢 200mm?;爻陶`差是在工作臺的中間及距兩邊各 150mm 處的三個位置上進行檢定。正反兩個方向轉(zhuǎn)動手輪,對準同一刻線時手輪上的讀數(shù)差即為回程誤差。
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