JJF1252-2010激光千分尺平行度檢查儀校準(zhǔn)規(guī)范

貨號(hào)AUBAT-1252J

雙面反射鏡

平面度小于0.1μm 平行度小于0.6μm 校準(zhǔn)示值誤差。

 定制產(chǎn)品

激光千分尺平行度檢查儀是利用激光干涉原理，測(cè)量外徑千分尺 (測(cè)量范圍 150mm~2000mm) 兩量面平行度的專用儀器。儀器通過(guò)光學(xué)系統(tǒng)把激光器發(fā)出的光分別照射在被測(cè)千分尺兩個(gè)測(cè)量面上，先后在光屏上形成兩組干涉環(huán)，通過(guò)測(cè)量?jī)山M干涉環(huán)的中心距離來(lái)確定被測(cè)千分尺兩測(cè)量面平行度。

計(jì)量特性

1活動(dòng)標(biāo)尺的示值誤差

毫米分度     厘米分度     全 長(zhǎng)

士0.10          士0.15         士0.20

2活動(dòng)標(biāo)尺旋轉(zhuǎn)中心與公差圓中心的偏移量

活動(dòng)標(biāo)尺旋轉(zhuǎn)中心與公差圓中心的偏移量不超過(guò) 0.5 mm

3示值誤差

示值*大允許誤差 ,**值不超過(guò) 2 mm。

4測(cè)量重復(fù)性

測(cè)量重復(fù)性不超過(guò) 0.2 mm。

示值誤差

平行度檢查儀示值誤差應(yīng)先用量塊校準(zhǔn)，再用自準(zhǔn)直儀和雙面反射鏡校準(zhǔn)。

用量塊組成的標(biāo)準(zhǔn)平行平面校準(zhǔn)

測(cè)量時(shí)，標(biāo)準(zhǔn)平行平面由一塊 300 mm 和兩 3 mm~5 mm 的3 等量塊組合而成如圖 4 所示 (可借助量塊附件的專用夾具組合成)。根據(jù) 300 mm 量塊尺寸從附錄 C選取 D、d 值，將光屏座指標(biāo)線對(duì)準(zhǔn) D尺上?44 mm 刻線，量塊 B面對(duì)準(zhǔn) d 尺 130 mm刻線，移動(dòng)反射鏡，使激光束射在量塊測(cè)景面 A'上，在光屏上產(chǎn)生干涉環(huán)工后，調(diào)整反射鏡及標(biāo)準(zhǔn)棱鏡使干涉環(huán)中心位予公差圓中心;再平移反射鏡，使激光光束射在量塊測(cè)量面 B'上，轉(zhuǎn)動(dòng)活動(dòng)標(biāo)尺，讀取干涉環(huán)中心與公差圓中心的距離 rs。示值誤差i=rs。

用自準(zhǔn)直儀和雙面反射鏡校準(zhǔn)

在儀器的測(cè)量范圍內(nèi)選擇均勻分布的 3 個(gè)測(cè)量位置校準(zhǔn)。測(cè)量時(shí)，根據(jù)測(cè)量位置分別從附錄 C 中選取相應(yīng)的 D、d 值。按照選取的 D、d 值將儀器工作臺(tái)放置在標(biāo)準(zhǔn)棱鏡右側(cè)合適位置，在工作臺(tái)上安裝好雙面反射鏡，使雙面反射鏡的 a 面對(duì)準(zhǔn) d 值指標(biāo)線光屏座指標(biāo)線對(duì)準(zhǔn)相應(yīng)的 D 值。調(diào)整儀器，使雙面反射鏡的 a 面反射光與標(biāo)準(zhǔn)棱鏡的 B 面反射光相干涉，產(chǎn)生干涉環(huán)工后，調(diào)整反射鏡及標(biāo)準(zhǔn)棱鏡使干涉環(huán)中心位于公差圓中心;移動(dòng)自準(zhǔn)直儀使其物鏡對(duì)準(zhǔn)雙面反射鏡 b 面，并讀數(shù)作為初始值: 轉(zhuǎn)動(dòng)雙面反射鏡使光屏上的于涉環(huán)沿水平(或豎直) 方向移動(dòng)形成一測(cè)量角度，在光屏上形成一組新的干涉環(huán)]; 用活動(dòng)標(biāo)尺讀取干涉環(huán)I的中心與公差圓中心的距離 rs; 從自準(zhǔn)直儀上讀出雙面反射鏡的轉(zhuǎn)動(dòng)角度o;根據(jù) d 值從附錄 C 中查出相應(yīng)的角值 B換算系數(shù)計(jì)算差值 。