制藥網(wǎng)
詳細(xì)介紹
JJF1351-2012掃描探針顯微鏡校準(zhǔn)規(guī)范
貨號AUBAT-1351S
納米級臺階樣板
校準(zhǔn)掃描探針顯微鏡Z向漂移
納米線間隔樣板
校準(zhǔn)X Y軸位移測量誤差
二維納米線間隔樣板
校準(zhǔn)X Y坐標(biāo)正交性誤差
JJF1351-2012掃描探針顯微鏡校準(zhǔn)規(guī)范適用于以幾何表面形貌為測量對象的掃描探針顯微鏡的校準(zhǔn)。掃描探針顯微鏡具有高分辨力、實(shí)時、原位成像等特征。對樣品無特殊要求，不受樣品的干燥度、形狀、硬度、純度等限制，可在大氣、常溫環(huán)境甚至是溶液中成像。廣泛應(yīng)用于納米科技、材料科學(xué)、物理、化學(xué)和生命科學(xué)等領(lǐng)域。
校準(zhǔn)項(xiàng)目和校準(zhǔn)方法
1 掃描探針顯微鏡 Z 向漂移
用納米級臺階樣板中平面測量區(qū)域作被測對象，將掃描探針顯微鏡調(diào)整在測量狀態(tài)。
關(guān)閉掃描探針顯微鏡的 X、Y 掃描，僅保留 Z 向掃描功能，行掃描頻率 1 Hz，行掃描分辨力選取掃描探針顯微鏡的*大值，按約定的時間連續(xù)測量，以約定時間內(nèi)測量數(shù)據(jù)的均方根 (RMIS) 作為該項(xiàng)的校準(zhǔn)結(jié)果。
2校準(zhǔn)X Y軸位移測量誤差
測量時通常在納米線間隔標(biāo)準(zhǔn)樣板上選取 6 個隔以上的周期并兼顧測量范圍不小于掃描探針顯微鏡掃描器掃描范圍的 1/3。
線間隔周期起點(diǎn)以延長邊緣數(shù)據(jù)加權(quán)重心法確定。線間隔周期位移點(diǎn)依次計(jì)算各測量周期的線間隔周期位移點(diǎn)，計(jì)算出起始與終止間隔的位移并除以周期數(shù)以確定掃描探針顯微鏡的 X、Y 軸位移測量誤差，并記錄相關(guān)加權(quán)系數(shù)的選取。
3 X、Y 坐標(biāo)正交性誤差
掃描探針顯微鏡測量 X、Y 方向正交性誤差采用兩維納米線間隔樣板完成。用掃描探針顯微鏡進(jìn)行測量時，在兩維納米線間隔樣板有效測量區(qū)域采用面掃描或十字垂線的線掃描方式進(jìn)行。以計(jì)算線間隔周期*小值時的取樣方向?yàn)樵摲较蚓€間隔的垂線方向。通過測量的形貌圖或網(wǎng)格圖中的坐標(biāo)值分別確定樣板中行、列刻線的斜率，并計(jì)算出兩擬合線的夾角作為 X、Y 坐標(biāo)正交角度，該正交角度與標(biāo)準(zhǔn)樣板正交角度的柒為掃描探針顯微鏡對應(yīng)的 X、Y 坐標(biāo)正交性誤差，如此連續(xù)測量 10 次，以 10 次的平均值作為正交性測量結(jié)果，與納米線間隔樣板正交結(jié)果的差作為該項(xiàng)的測量結(jié)果。
貨號AUBAT-1351S
納米級臺階樣板
校準(zhǔn)掃描探針顯微鏡Z向漂移
納米線間隔樣板
校準(zhǔn)X Y軸位移測量誤差
二維納米線間隔樣板
校準(zhǔn)X Y坐標(biāo)正交性誤差
JJF1351-2012掃描探針顯微鏡校準(zhǔn)規(guī)范適用于以幾何表面形貌為測量對象的掃描探針顯微鏡的校準(zhǔn)。掃描探針顯微鏡具有高分辨力、實(shí)時、原位成像等特征。對樣品無特殊要求，不受樣品的干燥度、形狀、硬度、純度等限制，可在大氣、常溫環(huán)境甚至是溶液中成像。廣泛應(yīng)用于納米科技、材料科學(xué)、物理、化學(xué)和生命科學(xué)等領(lǐng)域。
校準(zhǔn)項(xiàng)目和校準(zhǔn)方法
1 掃描探針顯微鏡 Z 向漂移
用納米級臺階樣板中平面測量區(qū)域作被測對象，將掃描探針顯微鏡調(diào)整在測量狀態(tài)。
關(guān)閉掃描探針顯微鏡的 X、Y 掃描，僅保留 Z 向掃描功能，行掃描頻率 1 Hz，行掃描分辨力選取掃描探針顯微鏡的*大值，按約定的時間連續(xù)測量，以約定時間內(nèi)測量數(shù)據(jù)的均方根 (RMIS) 作為該項(xiàng)的校準(zhǔn)結(jié)果。
2校準(zhǔn)X Y軸位移測量誤差
測量時通常在納米線間隔標(biāo)準(zhǔn)樣板上選取 6 個隔以上的周期并兼顧測量范圍不小于掃描探針顯微鏡掃描器掃描范圍的 1/3。
線間隔周期起點(diǎn)以延長邊緣數(shù)據(jù)加權(quán)重心法確定。線間隔周期位移點(diǎn)依次計(jì)算各測量周期的線間隔周期位移點(diǎn)，計(jì)算出起始與終止間隔的位移并除以周期數(shù)以確定掃描探針顯微鏡的 X、Y 軸位移測量誤差，并記錄相關(guān)加權(quán)系數(shù)的選取。
3 X、Y 坐標(biāo)正交性誤差
掃描探針顯微鏡測量 X、Y 方向正交性誤差采用兩維納米線間隔樣板完成。用掃描探針顯微鏡進(jìn)行測量時，在兩維納米線間隔樣板有效測量區(qū)域采用面掃描或十字垂線的線掃描方式進(jìn)行。以計(jì)算線間隔周期*小值時的取樣方向?yàn)樵摲较蚓€間隔的垂線方向。通過測量的形貌圖或網(wǎng)格圖中的坐標(biāo)值分別確定樣板中行、列刻線的斜率，并計(jì)算出兩擬合線的夾角作為 X、Y 坐標(biāo)正交角度，該正交角度與標(biāo)準(zhǔn)樣板正交角度的柒為掃描探針顯微鏡對應(yīng)的 X、Y 坐標(biāo)正交性誤差，如此連續(xù)測量 10 次，以 10 次的平均值作為正交性測量結(jié)果，與納米線間隔樣板正交結(jié)果的差作為該項(xiàng)的測量結(jié)果。
制藥網(wǎng)
邵武市|
涞源县|
轮台县|
伊金霍洛旗|
鸡西市|
准格尔旗|
永寿县|
怀宁县|
双牌县|
延川县|
正定县|
北碚区|
鹤山市|
封丘县|
电白县|
达拉特旗|
聂拉木县|
西华县|
逊克县|
吴忠市|
纳雍县|
镇沅|
九龙县|
平潭县|
深水埗区|
墨竹工卡县|
汝州市|
南涧|
威海市|
通州区|
溆浦县|
鄱阳县|
揭东县|
陇西县|
嘉义县|
三河市|
都昌县|
天峨县|
九龙县|
沈丘县|
北票市|