JJF1739-2019數(shù)字式激光球面干涉儀校準規(guī)范

貨號：AUBAT-1739S

標準球面反射鏡

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校準項目和校準方法

首先檢查數(shù)字式激光球面于涉儀外觀和各部分相互作用，確定沒有影響校準計量性能的因素后再進行校準工作。

示值誤差

 直接比較法

直接比較法適用于準確度為 /10 級和 /20 級球面干涉儀的校準。首先根據(jù)數(shù)字式激光球面干涉儀球面鏡頭 數(shù)選擇與之匹配的標準球面反射鏡，入/10 級數(shù)字式激光球面干涉儀需要選擇 PVr 小于或等于 21.0 nm /30) 的標準球面反射鏡，入/20 級數(shù)字式激光球面干涉儀需要選擇 PVr 小于或等于 10.5 nm (/60)的標準球面反射鏡，并且數(shù)字式激光球面于涉儀解相位算法需要與 F 數(shù)相匹配。然后將標準球面反射鏡安裝在調(diào)整架上，通過精密調(diào)整使干涉條紋為零條紋或者條紋數(shù)*少(此時標準球面反射鏡曲率半徑中小與于涉儀球面鏡頭售點重合，即共售位置)。通過軟件去除常數(shù)項、傾斜項和 Power 項后，得到數(shù)字式激光球面干涉儀面形測量結(jié)果 M(i，j)，被校準數(shù)字式激光球面干涉儀的測量面形偏差 I (，j) 按式計算求得。

三位置法

三位置法適用于 入/40 級數(shù)字式激光球面干涉儀的校準，

首先根據(jù)數(shù)字式激光球面干涉儀球面鏡頭 F 數(shù)選擇與之匹配的標準球面反射鏡并且數(shù)字式激光球面干涉儀解相位算法需要與 F 數(shù)相匹配。然后將標準球面反射鏡安裝在調(diào)整架上，調(diào)整使標準球面反射鏡頂點位于數(shù)字式激光球面干涉儀球面鏡頭焦點位置(即貓眼位置)，如圖 2 (a) 所示，精密調(diào)整標準球面反射鏡使干涉條紋為零條紋或條紋數(shù)*少，通過軟件去除常數(shù)項、傾斜項和 Power 項后，得到數(shù)字式激光球面干涉儀貓眼位置面形測量結(jié)果 M。(i，i); 然后將標準球面反射鏡移動到共焦位置，精密調(diào)整標準球面反射鏡使于涉條紋為零條紋，進行 0位置共焦測量，如圖 2 (b) 所示;*后將標準球面反射鏡繞光軸旋轉(zhuǎn) 180，精密調(diào)整標準球面反射鏡使干涉條紋為零條紋，進行 180°位置共焦測量，如圖 2 (c) 所示。通過軟件去除常數(shù)項、傾斜項和Power 項后分別得到 0°和 180°位置共焦量結(jié)果。

數(shù)字式激光球面干涉儀直接比較法校準不確定度評定示例

測量方法

入/10 級數(shù)字式激光球面干涉儀需要選擇 PVr 小于或等于 21.0 nm (/30) 的標準球面反射鏡進行校準，而a/20 級數(shù)字式激光球面干涉儀需要選擇 PVr 小于或等于10.5 nm (a/60) 的標準球面反射鏡進行校準。在數(shù)字式激光球面干涉儀主機上安裝干涉儀球面鏡頭，然后將 F 數(shù)與之匹配的標準球面反射鏡安裝在調(diào)整架上與干涉儀球面鏡頭構(gòu)成零位干涉腔。待干涉腔穩(wěn)定后，精密調(diào)整使干涉條紋為零條紋或*少條紋數(shù)，重復(fù)測量 10 次。例:/10 級數(shù)字式激光球面涉儀球面鏡頭 F 數(shù)為 0.75、面形偏差標稱值為入/10 (PVr)，選用 PVr 小于或等于 10.5 nm (/60) 的標準球面反射鏡進行校準，重復(fù)測量 10 次。