JJF 1932-2021 橢偏儀校準(zhǔn)規(guī)范

貨號:AUBAT-1932T

1.角度標(biāo)準(zhǔn)器

2.延遲量標(biāo)準(zhǔn)樣品

3.橢偏角標(biāo)準(zhǔn)樣品

4.自準(zhǔn)直儀

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JJF1932-2021橢偏儀校準(zhǔn)規(guī)范適用于波長范圍在250nm~2 000 nm 內(nèi)的偏儀的校準(zhǔn).

計量特性

1波長示值誤差

對光譜式橢偏儀: 在 (250~850) nm 波段，不超過0.5 nm (光譜掃描式)或士1.0 nm (多通道式);在 (850~2 000) nm 波段，不超過士4.0 nm。

2 光譜帶寬一般不超過士10 nm。

3入射角示值誤差一般不超過士0.05°

4橢偏角測量重復(fù)性

以空氣為自然基準(zhǔn)測量，在 (400~800) nm 波段，和 的測量重復(fù)性一般不超過士0.03°;其他波段，測量重復(fù)性一般不超過士0.06°

5 波片延遲量示值誤差在 633 nm 波長，對延遲量名義值 90的波片，一般不超過士4°。

6 橢偏角示值誤差

在 633 nm 波長測量橢偏角標(biāo)準(zhǔn)樣品時，亞和 的示值誤差不超過士0.5°。

校準(zhǔn)條件

1 角度標(biāo)準(zhǔn)器:至少具有兩光學(xué)反射面，其夾角大小滿足人射角校準(zhǔn)的需要，見7.5?？梢允墙?jīng)檢定合格的正多面棱體，或經(jīng)校準(zhǔn)的專用棱體;被校準(zhǔn)的入射角度一般為 70°或 75°。

2 延遲量標(biāo)準(zhǔn)樣品:快軸方位已標(biāo)出的波片，在工作波長 633 nm 下，延遲量名義值為 90°，不確定度優(yōu)于0.2°(k=2)，其計量特性可參照 JJF 1497 偏光儀校準(zhǔn)規(guī)范。

3 橢偏角標(biāo)準(zhǔn)樣品:單晶硅表面 SiO薄膜 (至少包含名義厚度 50 nm、120 nm各一片)，區(qū)域至少有 5 mm5 mm 范圍內(nèi)偏角 (波長 633 nm)的非均性優(yōu)于 0.3%(標(biāo)準(zhǔn)偏差/平均值)，年變化量小于 2%，表面干凈光潔，以干凈塑料專用容器保存。

4. 自準(zhǔn)直儀：適用于所考察波段的輔助起偏棱鏡(消光比達(dá)到 100 000 : 1)，波片和起偏棱鏡的旋轉(zhuǎn)、裝夾機(jī)構(gòu)。