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產品簡介

探針臺設備是用于每片晶圓上的各個芯片的電信號的檢測設備來保證半導體產品的品質

詳細介紹

探針臺設備是用于每片晶圓上的各個芯片的電信號的檢測設備來保證半導體產品的品質。

　硅片探針臺：UF3000EX

****的采用下一代技術的高品質的探針臺，采用新的運算法則的晶圓的搬送及相關新技術的協(xié)作的使得產能的顯著提高成為可能。高速度，低噪音的X，Y軸平臺得宜于新的驅動系統(tǒng)的創(chuàng)建。Z軸確保為***的負載容量及高精度。在整個的布置上通過*佳的結構設計與拓撲學的良好結合可靠的消除平面上的受力。

在**的OTS位置處理系統(tǒng)及彩色晶圓圖象對準系統(tǒng)并裝備小的極大倍率放大功能，UF3000EX在業(yè)內成為一臺引人注目高精度，可操作性的設備。

　硅片探針臺：UF3000

吸收到了到目前為止的*新工藝，如創(chuàng)造性的OTS，QPU&TTG，非常**的技術規(guī)格為目前所遇到的小型化，下一代的半導體產品及多種的測試環(huán)境提供專業(yè)的測試系統(tǒng)。

特點1	OTS—*新的定位技術（光學定位）

OTS通過照相機對相關位置的測量來來保證**的精度，非常引人注目的技術改良?；跂|京精密度量學的技術，OTS成為自我相關的對準光學系統(tǒng)。

特點2	QPU—剛性的承載臺(四支點系統(tǒng))

為了有效的達到適當的位置精度，在承載臺各個區(qū)域保持一致的剛性是非常重要的。UF3000采用新的技術使用4個軸驅動Z軸移動（QPU），實現高剛性，高穩(wěn)定的探針接觸。

特點3

　load-port

提供令客戶滿意的公共平臺8英寸及12英寸從前部的搬送平臺。設備并符合美國物料搬送協(xié)會的標準。

特點4	TTF（點那里移動到那里）

追求更好的操作性，UF3000采用了新的功能，在這個顯示屏顯示的范圍內，點到任何的區(qū)域，承載臺就移動到該區(qū)域，設置非常的簡單，屏幕顯示菜單的項目由客戶自己定義。

　硅片探針臺：UF2000

東京精密，現在的ACCRETECH，在世界范圍內繼續(xù)著半導體工業(yè)內探針臺的發(fā)展方向，*新開發(fā)出來的基于200mm晶圓使用的探針臺UF2000主要應用的LCD及其他新工藝下的產品測試。在各項功能上有了大幅度的提升，具有前面所列型號的*新的技術。

特點1

綜合的精度為+/-1.5um

特點2

采用新的處理芯片，新的搬送系統(tǒng)設計及高清晰的圖象處理系統(tǒng)有效了提高了性能及設備的產能。

　硅片探針臺：UF200SA

進化的晶圓探針臺，UF系列基于一個靈活的平臺，具有高精度和高剛性，UF系列的一個更好的改進型，在整個裝配和線寬越來越小的半導體技術進步過程中，該臺設備主要用于晶圓比較薄的工藝。

特點1

8英寸的多用途設備。

　硅片探針臺：UF200A

特點1

8英寸的多用途設備。

　硅片探針臺：UF190B

特點1

高性能，高產能，具有很高性價比的設備。

特點2

UF190A是具有高性能和非常優(yōu)良的操作性與并具有和為UF200爭得名譽的自動對針系統(tǒng)和彩色的LCD顯示系統(tǒng)。

　硅片探針臺：FP200A

特點1

帶藍膜的薄晶圓的搬送

　EM系列分離器件產品測試機：EM21

該產品提供高精度，高速度的測量半導體分離器件產品，該系統(tǒng)支持大電流，大電壓測試系統(tǒng)及數據分析，數據管理系統(tǒng)。

特點1

高精度，高速度的測量多種分離器件產品

特點2

該型號的設備均配備一臺4通道的測試機

　硅片探針臺的網絡系統(tǒng)：VEGANET

設備的運轉情況被集中的監(jiān)控以實現更高的生產效率。


系統(tǒng)監(jiān)控	運行速度控制	設備狀態(tài)監(jiān)控	數據分析

　硅片探針臺的網絡系統(tǒng)：LIGHTVEGA

所有的數據信息被客戶的服務器所集中保存。

　硅片探針臺的網絡系統(tǒng)：VEGA PLANET

專門的終端管理平臺用于提升整個測試過程的性能

特點1

終端的品種參數的編譯

特點2

終端的操作監(jiān)控

特點3

終端的日志文件分析

特點4

MAP圖形顯示

****的采用下一代技術的高品質的探針臺，采用新的運算法則的晶圓的搬送及相關新技術的協(xié)作的使得產能的顯著提高成為可能。高速度，低噪音的X，Y軸平臺得宜于新的驅動系統(tǒng)的創(chuàng)建。Z軸確保為***的負載容量及高精度。硅片探針臺在整個的布置上通過*佳的結構設計與拓撲學的良好結合可靠的消除平面上的受力。

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硅片探針臺

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