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JJF1105-2018觸針式表面粗糙度測量儀校準規(guī)范
1.標(biāo)準多刻線樣板AUBAT-I800
U95：（3nm+0.02A)~ (5 nm+0.05A)注：A 為標(biāo)準多刻線樣板表面粗糙度參數(shù) Ra的標(biāo)準值，Ra 單位為μm。校準：示值誤差、重復(fù)性、穩(wěn)定性。
2.單刻線樣板、單刻線標(biāo)準樣板AUBAT-IDX
1.標(biāo)準多刻線樣板AUBAT-I800
U95：（3nm+0.02A)~ (5 nm+0.05A)注：A 為標(biāo)準多刻線樣板表面粗糙度參數(shù) Ra的標(biāo)準值，Ra 單位為μm。校準：示值誤差、重復(fù)性、穩(wěn)定性。
2.單刻線樣板、單刻線標(biāo)準樣板AUBAT-IDX
3.長平晶AUBAT-L210或平面平晶1級
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