高純傳感器

帶集成顯示和可選開關(guān)接點(diǎn)

WUD-20、WUD-25和WUD-26

應(yīng)用：半導(dǎo)體、平板顯示器和光伏產(chǎn)業(yè)，為半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)供應(yīng)高純氣體功能特性：高精度壓力測(cè)量0.15％RSS，長期穩(wěn)定性，信號(hào)噪聲消除和屏蔽真空基準(zhǔn)壓力測(cè)量，主動(dòng)溫度補(bǔ)償?？煽啃?WUD-2X系列高純壓力傳感器將*的傳感器理念與模擬輸出信號(hào)相結(jié)合，為客戶提供安全、準(zhǔn)確的壓力測(cè)量，以滿足當(dāng)今日益嚴(yán)苛的市場(chǎng)要求?；谡鎸?shí)真空基準(zhǔn)的壓力測(cè)量技術(shù)，加上干擾屏蔽和噪聲消除的電子測(cè)量技術(shù)，確保了高準(zhǔn)確度壓力測(cè)量和出色的長期穩(wěn)定性主動(dòng)溫度補(bǔ)償可降低溫度變化對(duì)傳感器的影響，即使在溫度波動(dòng)較大的應(yīng)用中也能安全進(jìn)行，例如氣體膨脹時(shí)的焦耳·湯姆遜效應(yīng)。WUD-25（管道式）和WUD-26(面密封安裝）傳感器采用特殊設(shè)計(jì)，可承受安裝帶來的扭曲應(yīng)力特殊的薄膜設(shè)計(jì)可消除過程連接或焊接接縫處的負(fù)載造成的傳感器失效風(fēng)險(xiǎn)。

多功能WUD-2x可輕松安裝于“機(jī)臺(tái)設(shè)備"配氣系統(tǒng)中。明亮的LED顯示屏可旋轉(zhuǎn)因此可以從任意位置查看讀數(shù)。配置兩個(gè)可編程開關(guān)輸出，可針對(duì)具體應(yīng)用進(jìn)行監(jiān)測(cè)及控制。結(jié)構(gòu)緊湊：WUD1-2x為緊湊型UHP傳感器，可用于安裝空間狹小的場(chǎng)合，甚至可以輕松對(duì)現(xiàn)有裝置進(jìn)行改裝。