LEXT專用物鏡可精確測量采用其他方式測量會(huì)發(fā)生畸變的周邊區(qū)域。

傳統(tǒng)物鏡

LEXT物鏡

新的MEMS掃描振鏡具有較低的掃描軌跡失真和較小的光學(xué)像差，可進(jìn)行精確的X-Y掃描。

4K掃描技術(shù)可在X軸方向掃描4096像素，是奧林巴斯以前顯微鏡型號(hào)的四倍。
OLS5000顯微鏡可在無需進(jìn)行圖像校正的情況下檢測幾乎垂直的陡峭斜面以及極低的臺(tái)階。

由于傳統(tǒng)激光顯微鏡采用諸如平滑消除噪聲等標(biāo)準(zhǔn)圖像處理技術(shù)，其有時(shí)會(huì)將精確測得的細(xì)微高度不規(guī)則測量數(shù)據(jù)連同噪聲一起消除。
OLS5100顯微鏡采用奧林巴斯自動(dòng)檢測可靠數(shù)據(jù)的智能判別算法，可在不丟失細(xì)微高度不規(guī)則測量數(shù)據(jù)的情況下實(shí)現(xiàn)精確測量。