MX6R各項操作根據(jù)人機(jī)工程學(xué)設(shè)計，較大限度減輕操作者的使用疲勞。其模塊化的部件設(shè)計，可對系統(tǒng)功能進(jìn)行自由組合。涵蓋明場、暗場、斜照明、偏光、DIC微分干涉等多種觀察功能，可根據(jù)實際應(yīng)用，進(jìn)行功能選擇。

寬視場鉸鏈?zhǔn)饺坑^察筒
正像鉸鏈三目觀察筒，所成像的方位與物體實際方向相同，物體移動的方向跟像面移動的方向相同，便于觀察與操作。

大行程移動平臺設(shè)計
采用6寸平平臺設(shè)計，行程158×158mm，可適用于對應(yīng)尺寸的晶圓或FPD檢測，也可用于小尺寸樣品的陣列檢測。

高精度物鏡轉(zhuǎn)換器
轉(zhuǎn)換器采用精密軸承設(shè)計，轉(zhuǎn)動手感輕巧舒適，重復(fù)定位精度高，物鏡轉(zhuǎn)換后的同心度也得到較好的控制。

安全、穩(wěn)重的機(jī)架結(jié)構(gòu)設(shè)計
工業(yè)檢測級顯微鏡鏡體，低重心、高剛性、高穩(wěn)定性金屬機(jī)架，保證了系統(tǒng)的抗震能力與成像穩(wěn)定性。
其前置低手位粗微調(diào)同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)，內(nèi)置100-240V寬電壓變壓器，可適應(yīng)不同地區(qū)的電網(wǎng)電壓。底座內(nèi)部設(shè)計有風(fēng)循環(huán)散熱系統(tǒng)，長時間使用也不會使機(jī)架過熱。

技術(shù)參數(shù)