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詳細(xì)介紹
儀器用途：
CW400LT-8″大平臺無窮遠(yuǎn)芯片檢查顯微鏡是適用于半導(dǎo)體晶圓的檢驗、芯片封裝、電路基板、材料等行業(yè)的理想儀器。可進(jìn)行偏光與明視場觀察轉(zhuǎn)換。配置大視野目鏡和長距平場消色差物鏡(無蓋玻片)，視場大而清晰。專門設(shè)計的大移動范圍載物臺，移動范圍:8"×8"(204mm×204mm)，滿足半導(dǎo)體行業(yè)的需求。粗微動同軸調(diào)焦機構(gòu)，粗動松緊可調(diào)，帶限位鎖緊裝置，微動格值:0.7μm。三目鏡筒，可進(jìn)行99%透光攝影。
主要技術(shù)參數(shù)：
1、目鏡筒：三目鏡，轉(zhuǎn)軸式，傾斜30度、360°旋轉(zhuǎn)
2、目鏡：大視野 WF10X/22mm
3、無窮遠(yuǎn)長工作距離平場消色差物鏡：
PL L5X/0.12 工作距離：26.1 mm
PL L10X/0.25 工作距離：20.2 mm
PL L20X/0.40 工作距離：8.8 mm
PL L50X/0.70（彈簧） 工作距離：3.68 mm
PL L80X/0.8（彈簧） 工作距離：1.25 mm
轉(zhuǎn)換器：內(nèi)向式滾珠內(nèi)定位五孔轉(zhuǎn)換器
4、總放大倍數(shù)：50X-800X
5、聚焦鏡：可調(diào)式阿貝聚焦鏡NA1.25，孔徑光闌，濾色片。
6、大工作臺：三層機械移動式，尺寸:280mmX270mm,移動范圍（X*Y）:204mmX204mm
7、調(diào) 焦 ：粗微動同軸調(diào)焦,升級范圍25mm，微動格值:0.7μm,帶鎖緊和限位裝置
8、落射照明系統(tǒng)：柯勒照明，落射照明6V30W，鹵素?zé)袅炼瓤烧{(diào)，內(nèi)置式視場光闌、孔徑光闌（黃、藍(lán)、綠、磨砂玻璃）濾色片轉(zhuǎn)換裝置，推拉式檢偏器與起偏器。
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