詳細介紹
儀器特點
◆鑄鐵基座經(jīng)過嚴格的時效處理,保證整體穩(wěn)定性。
◆高牌號工作臺,經(jīng)過嚴格熱處理時效,長期使用保證基準面不變形,導軌運行精度穩(wěn)定。
◆采用優(yōu)秀的無限遠高倍率光學系統(tǒng)。
◆采用LED光源照明系統(tǒng),保證高亮度,長壽面。
◆采用無間隙光桿傳動工作臺,保證測量精度。
◆超高的工作距離,采用步進電機升降,方便調(diào)節(jié),自帶DIC裝置插槽。
◆粗、微調(diào)焦裝置,微調(diào)最小每格0.002mm。
◆貼近用戶的靈活性,儀器的部件升級無需專業(yè)人員,用戶可自行操作完成。
應(yīng)用領(lǐng)域
該儀器適用于LED、硅晶片、精密零件、導電粒子彩色濾光片、手機屏幕、FPD模組半導體晶片、FPC-PCB、IC封裝光盤CD、圖像傳感器、CCD、CMOS、PDA光源、薄膜等金相觀察及精確測量行業(yè)。
技術(shù)參數(shù)
| 儀器型號 | RX-200 | RX-300 |
| X,Y,Z向測量行程(mm) | 200x100x200 | 300x200x200 |
| 工作臺面(mm) | 400x300 | 450x350 |
| 外形尺寸(mm) | 600x350x1040 | 700x450x1040 |
| 測量精度 | X,Y軸:(3+L/200)μm Z軸:(5+L/200)μm | |
| 重復精度 | 3μm | |
| 光柵尺分辨率 | 0.001mm | |
| 光學系統(tǒng) | 無限遠光學系統(tǒng) | |
| CCD | 高分辨率500萬像素 | |
| 鏡頭 | 標準金相顯微鏡鏡頭(帶偏光片組,LED燈源) | |
| 物鏡 | 5X,10X,20X,50X | |
| 目鏡筒 | 鉸鏈式三目鏡筒、30°傾斜、瞳距:55~75mm | |
| 目鏡 | 高亮點、大視場目鏡 | |
| 調(diào)焦組 | 粗、微調(diào)焦裝置,微調(diào)最小每格0.002mm | |
| 數(shù)顯裝置 | 多功能數(shù)顯表 | |
| 測量軟件 | YR-J | |
| 上光源 | LED燈 | |
| 下光源 | 平行光路設(shè)計,無極連續(xù)可調(diào)LED冷光源 | |
備注:根據(jù)客戶需求,可特殊定制。
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