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詳細(xì)介紹
V1000/1000X1000XS
大型等離子清洗機(jī)特點：
能有針對性的制作一些特殊電極，提高生產(chǎn)效率。
高可靠性RF電源，高精度調(diào)諧裝置。
大型等離子清洗機(jī)用途:
硅晶圓的灰化及蝕刻IC封裝、BGA/CSP基板處理電子半導(dǎo)體零部件和電子材料的干式清洗物體表面氧化物和有機(jī)物的除去鍍膜、烤漆前的清洗，增強(qiáng)膜層的附著力
能有針對性的制作一些特殊電極，提高生產(chǎn)效率。
高可靠性RF電源，高精度調(diào)諧裝置。
大型等離子清洗機(jī)用途:
硅晶圓的灰化及蝕刻IC封裝、BGA/CSP基板處理電子半導(dǎo)體零部件和電子材料的干式清洗物體表面氧化物和有機(jī)物的除去鍍膜、烤漆前的清洗，增強(qiáng)膜層的附著力
大型等離子清洗機(jī)規(guī)格：
| 型號 | V1000 | V1000X | V1000XS |
| 等離子模式 | DP/RIE | DP/RIE | |
| 振動頻率 | 13.56MHz | ||
| 反應(yīng)氣體 | 聚合控制器2系統(tǒng)（充填氣路另行安裝） | ||
| 安全裝置 | 門開關(guān)、側(cè)板互鎖機(jī)構(gòu)、緊急停止開關(guān) | ||
| 輸出功率 | 1000W | 1000W | 1500W |
| 有效尺寸(W×D) | 280×280mm | 300×300mm | 400×375mm |
| 油回旋真空泵 | 670&1000L/min | 670&1500L/min | 1000&1500L/min |
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