SID4 R-CUBE 為一臺(tái)集成式照明模塊，可配合SID4系列波前位相傳感器構(gòu)成雙光路光學(xué)元件測(cè)試系統(tǒng)。SID4 R-CUBE提供高品質(zhì)的準(zhǔn)直光源照明（可選擇透鏡構(gòu)成匯聚/發(fā)散光源），并可直接連接至SID4系列傳感器?？捎糜诖罂趶狡矫婕扒骁R片，透鏡組件的測(cè)試及校準(zhǔn)。

照明及光路組件SID4 R-CUBE主要特征：

l <20nm rms 精度

l <2nm rms 分辨率

l 震動(dòng)不敏感

l 緊湊尺寸

l 用戶(hù)可選照明波長(zhǎng)

l 與平移臺(tái)/ 旋轉(zhuǎn)臺(tái)/ 傾斜臺(tái)兼容

照明及光路組件SID4 R-CUBE主要參數(shù)：

測(cè)試方法圖示：

l 用于自適應(yīng)光學(xué)中消除分析臂的望遠(yuǎn)鏡像差

1：SID4 位相傳感器；2：SID4 R-CUBE模塊；3：擴(kuò)束望遠(yuǎn)鏡。

l 大口徑平面鏡測(cè)試

l 雙光路鏡頭品質(zhì)測(cè)試：鏡頭，物鏡，望遠(yuǎn)鏡...任意尺寸與放大率

l 凹面鏡測(cè)試

圖例：1. SID4 波前傳感器；2. SID4 R-CUBE照明模塊；3. 望遠(yuǎn)鏡/ 擴(kuò)束鏡；4. 待測(cè)（平）表面；5. 待測(cè)光學(xué)元件；6. 參考凹面鏡；7. 物鏡（光束變換用）；8. 待測(cè)凹面鏡