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OPTOTHERM紅外熱成像顯微鏡,OptothermMicro紅外熱成像顯微鏡

詳細(xì)介紹

OPTOTHERM紅外熱成像顯微鏡,Optotherm Micro紅外熱成像顯微鏡，這是一臺專為微觀熱成像設(shè)計(jì)，這是一臺專為科研設(shè)計(jì)，用來測量微觀熱分布情況，除具有傳統(tǒng)紅外熱成像的優(yōu)勢外，還具有如下特點(diǎn)：

1. 高分辨率紅外熱成像：640*480像素，60hz高幀數(shù)，5um分辨率

微加熱臺 Micro heater，6.4mm 由于需要采用非接觸方式來測量MEMS元件的溫度，因此Micro是一款用于微觀溫度表征的*工具，可提供高達(dá)5μm/像素空間分辨率的詳細(xì)熱圖像。

分析鑒別微米及的紅外圖案，可用于特殊領(lǐng)域防偽鑒定，如微電子器件、IC等的防范標(biāo)識鑒別。

而MEMS氣體傳感器由于其體積?。╩m級），傳感器需要自加熱到一定溫度后，其傳感器的精度才能達(dá)到，這就要求在研發(fā)和測試過程中對MEMS氣體傳感器的電阻絲溫度測量，需要使用紅外熱成像顯微鏡，如圖電阻絲只有幾十微米

MEMS氣體傳感器電阻絲只有幾十微米傳感器需要自加熱到一定溫度后，其傳感器的精度才能達(dá)到，這就要求在研發(fā)和測試過程中對MEMS氣體傳感器的電阻絲溫度測量，需要使用紅外熱成像顯微鏡.

導(dǎo)管加熱線圈等小型醫(yī)療直徑為500微米溫度分布和熱響應(yīng)時間對于表征其性能非常重要。Micro提供了精確的非接觸式測量方法，具有高達(dá)5μm/像素的空間分辨率。

光纖通信等應(yīng)用的持續(xù)增長導(dǎo)致對諸如激光二極管之類的電光器件有更高的要求，關(guān)于功率要求和散熱。Micro提供了一種有效的方法來分析器件材料和熱襯底的熱性能。

芯片晶圓熱分布，對于微觀器件，真實(shí)熱分布由于微觀器件包含多種發(fā)射率不同的材料，需要像素級發(fā)射率校正

芯片晶圓熱分布，3.2*2.4mm 對于微觀器件，真實(shí)熱分布由于微觀器件包含多種發(fā)射率不同的材料，需要像素級發(fā)射率校正

2，專為科研設(shè)計(jì)的選配件：

1）XY高精度移動平臺，120*120mm,步進(jìn)精度為10um

infrared-microscope-xy-stage

2）自動控制上電的繼電器（八通道）：可以精準(zhǔn)控制上電及開關(guān)，比如設(shè)計(jì)上電30s后斷電，這個過程同步錄像或拍照

自動繼電器

3）兩種可選高精度熱臺：可以控制真正0℃-80℃，0℃–130℃，可以給樣品均勻加熱或降溫，設(shè)置一定實(shí)驗(yàn)環(huán)境

高精度熱臺0℃-130℃

4）探針臺：微小器件的上電工具，扎針上電，

微探針臺

5）發(fā)射率涂層套件：對于發(fā)射率低的器件，可以通過噴槍施加?。?-2微米）聚合物涂層以增加表面的發(fā)射率?？沙惺芨哌_(dá)200°C的連續(xù)溫度

發(fā)射率涂層工具

3，功能*的軟件：

1) 點(diǎn)，線，面的溫度分析，點(diǎn)顯示跟蹤，研究。

線性分布：畫一條線上的熱分布，可通過移動垂直線，知道準(zhǔn)確位置的準(zhǔn)確溫度

區(qū)域熱分布表：區(qū)域內(nèi)不同溫度的分布情況，可以移動垂直線知道該溫度下有多少像素點(diǎn)

熱分布曲線表：可跟蹤若干個點(diǎn)、線、面的，，平均溫度，可通過移動垂直線，對某一具體時間的溫度情況就行研究

2）發(fā)射率校正：像素級發(fā)射率校正，修正發(fā)射率導(dǎo)致的溫度測量偏差，制作發(fā)射率表

熱發(fā)射率表，系統(tǒng)自帶像素級熱發(fā)射率計(jì)算和校正軟件，移動鼠標(biāo)可知任一點(diǎn)的發(fā)射率，通過校正，可測得樣品的真實(shí)熱分布

3）可見光及其他照片疊加，可以調(diào)節(jié)紅外圖像和可見光圖片的透明度

光學(xué)圖像和熱圖疊加，通過選擇透明度或過濾低溫，將熱圖和光學(xué)或其他圖像進(jìn)行疊加

4）一秒拍攝60張照片，生成照片，結(jié)合上述功能，可全面的觀測分析溫度與時間的關(guān)系，溫度于空間的關(guān)系

總結(jié)：

Optotherm Micro紅外顯微鏡，作為一臺專為微觀紅外熱成像研發(fā)和設(shè)計(jì)的專業(yè)系統(tǒng)，是做微觀熱分析的一個有力工具，其專為作為熱成像顯微鏡做的優(yōu)化，犧牲掉普通熱成像便攜性，可充電等各種方便宏觀熱成像的功能，同時，為微觀熱成像研究添加諸多實(shí)用和創(chuàng)新的功能，這使得其成為MEMS,電子器件，激光器件，LED，傳感器，氮化鎵器件，SIC，IGBT，微觀醫(yī)療器件等等，MEMS熱成像分析，光纖熱像檢測，測量微型換熱器的傳熱效率，半導(dǎo)體氣體傳感器的熱分析，微反應(yīng)器的溫度特性，微致動器的溫度測量，生物樣品的溫度分析，材料熱檢驗(yàn)，熱流體分析等等，是關(guān)注微觀熱分布的科研或生產(chǎn)的一個工具。

對于Optotherm Micro 紅外顯微鏡相關(guān)的應(yīng)用或調(diào)研，可以聯(lián)系optotherm中國區(qū)應(yīng)用實(shí)驗(yàn)室進(jìn)行送樣和評估。

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OPTOTHERM 紅外熱成像顯微鏡

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