全鋁技術(shù),橫梁與乙軸采用表面硬質(zhì)陽(yáng)極化航空鋁合金,溫度一致性,并降低了運(yùn)動(dòng)部件的質(zhì)量和測(cè)量機(jī)在高速運(yùn)行時(shí)的慣性,保證高速高精度。

三軸導(dǎo)軌均采用高精度自潔式空氣軸承,運(yùn)動(dòng)更平穩(wěn),導(dǎo)軌受磨損。

三軸均采用高精度歐洲進(jìn)口光柵尺,系統(tǒng)分辨率可達(dá)0.078 um,同時(shí)采用一端固定,一端自由伸縮的方式安裝,減少了光柵尺的變形,保證在溫度變化時(shí)的線性伸縮。

x向采用精密60三角梁技術(shù),相比矩形橫梁,重心更低,質(zhì)量剛性比,運(yùn)動(dòng)更加可靠。

Y軸采用整體燕尾式導(dǎo)軌,在降低機(jī)器重量的同時(shí),有效消除了運(yùn)動(dòng)扭擺,保證了測(cè)量精度和穩(wěn)定性。

Z向采取獲得氣動(dòng)平衡技術(shù),采用柔性懸掛系統(tǒng),避免了軸向運(yùn)動(dòng)和傳動(dòng)系統(tǒng)之間的干涉問題,提高了測(cè)量機(jī)的精度和長(zhǎng)期穩(wěn)定性。各運(yùn)動(dòng)軸均采用直流伺服驅(qū)動(dòng),增強(qiáng)型同步帶,確保運(yùn)動(dòng)的平穩(wěn)和準(zhǔn)確定位。

采用?？怂箍禐镃roma專業(yè)打造的DC-控制系統(tǒng), 21項(xiàng)誤差空間修正技術(shù)和自動(dòng)調(diào)諧功能,了機(jī)器的動(dòng)態(tài)性能和測(cè)量精度。

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