1 ．本底高速恢復(fù)

?通過島津的分析管270度偏轉(zhuǎn)方式，不受氦以外氣體的影響，即

使吸入了大量氦，本底也能快速恢復(fù)

2 ．測(cè)試端口氦排氣速度3L/s（50 Pa以下）

?氦排氣速度較高，有助于本低的快速穩(wěn)定及快速感應(yīng)

? 在生產(chǎn)線中有助于縮短節(jié)拍時(shí)間

3 ．搭載非接觸型的干式真空泵

? 搭載無油/無塵/三年免維護(hù)的泵

? 無塵室

? 無需更換油旋轉(zhuǎn)真空泵的油，可防止漏油和排氣煙霧

日本島津 MSE-2401全自動(dòng)便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀（干泵內(nèi)置緊湊式）