制藥網
詳細介紹
- 蒸汽壓力監(jiān)視功能作為標準配置，可在更換母罐期間檢查吹掃效率
- 可選配稱重傳感器，監(jiān)視母罐中殘余液體總量
- LU-A1000 系列設計緊湊，采用集成氣體系統(tǒng)，與傳統(tǒng)配件相比，可顯著減小尺寸
- 日常維護時輕松更換部件
- 脫氣器模塊為標準配置，可降低液體鼓泡風險，適用于各種汽化系統(tǒng)，包括注入和烘烤應用
- 安全標準：SEMI S2/S8/S14, CE 標志
- 安全改善：多樣化的監(jiān)視設備提供全自動控制。LU-A1000 系列配備了自動緊急關機功能，一旦系統(tǒng)出現故障，該功能將被啟動
- 可操作性改進：操作步驟全自動化，防止操作失誤。操作也可以通過設備前端的觸控面板來控制
LU 系列自動供液系統(tǒng)
LU 系列以不間斷、安全和可靠的方式將液態(tài)化學品輸送至液體材料烘烤系統(tǒng)和注入系統(tǒng)。這增加了正常運行時間，減少了操作人員手動操作和制程污染的風險。
LU 系列提供自動執(zhí)行殘余液體清洗程序的功能。
使用 LU 系列提高了供液能力和保養(yǎng)效率。
特征：
- 蒸汽壓力監(jiān)視功能作為標準配置，可在更換母罐期間檢查吹掃效率
- 可選配稱重傳感器，監(jiān)視母罐中殘余液體總量
- LU-A1000 系列設計緊湊，采用集成氣體系統(tǒng)，與傳統(tǒng)配件相比，可顯著減小尺寸
- 日常維護時輕松更換部件
- 脫氣器模塊為標準配置，可降低液體鼓泡風險，適用于各種汽化系統(tǒng)，包括注入和烘烤應用
- 安全標準：SEMI S2/S8/S14, CE 標志
- 安全改善：多樣化的監(jiān)視設備提供全自動控制。LU-A1000 系列配備了自動緊急關機功能，一旦系統(tǒng)出現故障，該功能將被啟動
- 可操作性改進：操作步驟全自動化，防止操作失誤。操作也可以通過設備前端的觸控面板來控制
| Model | LU-A1000 series |
| Liquids supported | TEOS, TMOB, TMOP, TEOP, BTBAS |
| Supply method | Pressure movement from He gas |
| Gas supply pressure | For pressure movement: 0.3 to 0.6 MPa (G); For purge: 0.3 to 0.6 MPa (G), OP N2 0.6 to 0.7 MPa (G) |
| Tank | Maximum 5-gallon container can be attached (outside of production range) |
| Operation | Automatic supply/stop using external signal from supply system |
| Operation area display details | Pressure error display; When an alarm is triggered: Display hold function (manual reset); Liquid level display; Sequence, etc. |
| Gas connection | Refer to basic flow |
| Power source | AC 100 to 240 V, 50/60 Hz, 300 VA |
| Electricity connection | AC 100 to 240 V breaker connection, signal receptacle |
| External dimensions | See external dimensions diagram |
| * Please make decisions regarding the specifications above after meeting with STEC. | |
外形尺寸
制藥網
卢湾区|
丰原市|
井研县|
张家港市|
鹤庆县|
土默特左旗|
常德市|
静安区|
日喀则市|
察隅县|
延安市|
满洲里市|
西昌市|
宜章县|
邻水|
肇庆市|
龙井市|
尚义县|
寻甸|
永泰县|
锡林浩特市|
澄迈县|
慈利县|
剑川县|
石楼县|
乌苏市|
禹州市|
松滋市|
稷山县|
精河县|
渭南市|
东宁县|
松滋市|
永川市|
桂阳县|
布尔津县|
杭州市|
鄂温|
永寿县|
临安市|
航空|