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詳細介紹
- 新設(shè)計實現(xiàn)汽化率的
- 新噴嘴確保持續(xù)穩(wěn)定的液體注入，實現(xiàn)穩(wěn)定的蒸氣輸出濃度
- 全不銹鋼設(shè)計限度地提高耐腐蝕性，減少顆粒產(chǎn)生
- 適用于多種液體材料
LE 系列大流量液體源汽化控制系統(tǒng)
LE 系列大流量高效汽化器將通道和加熱器元件嵌入鑄鋁塊，確保的傳熱率，并消除冷點和冷凝風險。該液體源汽化控制系統(tǒng)可在高達 300℃ 的溫度下運行，IPA（或等效物質(zhì)）汽化效率可達 30g/min。
特征：
- 新設(shè)計實現(xiàn)汽化率的
- 新噴嘴確保持續(xù)穩(wěn)定的液體注入，實現(xiàn)穩(wěn)定的蒸氣輸出濃度
- 全不銹鋼設(shè)計限度地提高耐腐蝕性，減少顆粒產(chǎn)生
- 適用于多種液體材料
| Application liquid | H2O/IPA/TEOS/SiCl4 Please contact HORIBA if you require vaporizing any liquid materials that are not listed here. |
| Maximum vaporization volume (gas flow rate) | H2O : 10g/min (12.4 SLM) IPA ： 30g/min (11.1 SLM） TEOS : 50g/min（5.3 SLM） SiCl4 ： 130g/min（17.1 SLM） |
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