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日本HORIBA MV-2000 系列混合注入系統(tǒng)液體汽化器

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更新時(shí)間：2023-12-05 18:57:27瀏覽次數(shù)：840

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MV-2000 系列采用新的螺旋流加熱方法，即使在低溫下也能實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定汽化。適用于包含 “High-k"工藝液體在內(nèi)的一系列液體源的汽化。

詳細(xì)介紹


  • 使用螺旋流加熱方法實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的低溫汽化
  • 大流量汽化（增加穩(wěn)定性數(shù)據(jù)）
  • 可汽化易熱解的液體源

MV-2000 系列混合注入系統(tǒng)液體汽化器

MV-2000 系列采用新的螺旋流加熱方法，即使在低溫下也能實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定汽化。適用于包含 “High-k"工藝液體在內(nèi)的一系列液體源的汽化。

特 征：

  • 使用螺旋流加熱方法實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的低溫汽化
  • 大流量汽化（增加穩(wěn)定性數(shù)據(jù)）
  • 可汽化易熱解的液體源
技術(shù)參數(shù)：

Model MV-2000
Liquid Material All liquids except those corrosive to stainless steel(ex. HCl, HF)
Setting Temperature By vaporization conditions(Control Valve : Max 140 ?C Vaporizer : Max 200 ?C)
Leak Integrity ≤ 1 × 10-8 Pa·m3 /s (He)
Internal leak standard ≤ 1 × 10-6 Pa·m3 /s (He)
Wetted parts SUS316L , PFA
Temperature Sensor Thermocouple type K (CA)
Pressure Resistance 1MPa (G)
Standard Fitting Liquid inlet: 1/8 VCR type Male Carrier gas inlet: 1/4 VCR type Female Gas outlet: 1/2 VCR type Male
Operating Temperature 15 - 50 ?C
Option Air valve(Internal leak standard: ≤ 1×10-9 Pa · m3 / s(He) )
scrollable
  • The generated flow rate may differ depending on the liquid material, amount of generation, generation conditions, etc. We will recommend the model most suited to your needs upon consultation.
  • The vaporizer has a heater, temperature sensor, and switch inside of it. Please contact us for more details on their specifications.


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