詳細(xì)介紹 NightN斐索干涉儀RIF ： NightN開發(fā)了斐索干涉儀RIF和配套軟件。該軟件旨在處理具有額外傾斜度的干涉圖案。 產(chǎn)品規(guī)格： 1. 孔徑：10 至 95 mm（可選高達(dá) 300 mm） 2. 工作頻率：高達(dá) 25 Hz 3. 測量精度：0.032 µm (P-V) 4. 測量像差：5 µm（P-V） 5. 光源：二極管激光器 6. 波長：0.65 µm 7. CCD：FireWire接口相機 軟件特色： 1. 可處理實時圖像或保存為 .bmp 圖像 2. 測量精度約為λ/400 3. 結(jié)果顯示為 Zernike 多項式系數(shù)、P-V 和 RMS 值，相位分布的 2D 和 3D 表示 為了獲得被測表面的信息，在 x 方向引入傾斜，并獲得 8 到 60 條干涉條紋處理過程包括： 1. 獲取干涉圖案圖像（或從 .bmp 文件加載） 2. 確定感興趣的區(qū)域 3. 過濾數(shù)據(jù)，排除假極值 4. 尋找極值 5 將相位轉(zhuǎn)化為極值坐標(biāo)的表示形式，通過 Zernike 多項式分解、計算峰-谷誤差，均方根（RMS）和點擴散函數(shù)（PSF） 軟件界面
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