在半導(dǎo)體及液晶面板行業(yè)超純水制程中，離子交換因其對(duì)TOC以及二氧化硅、硼等離子優(yōu)秀的脫除能力而被廣泛應(yīng)用。

預(yù)過濾水從活性炭過濾器出來后，即被導(dǎo)入陽、陰離子交換器由陽離子交換器的頂部流向底部；此陽離子交換器內(nèi)填裝有強(qiáng)酸性陽樹脂，包含鈣、鎂、鈉、銨根等陽離子在此與氫離子（H+）進(jìn)行置換。

從陽離子交換器出來的水通過脫氣塔，去除二氧化碳，再流入陰離子交換器，陰離子交換器填裝有弱堿性陰離子樹脂（上層）與強(qiáng)堿性離子交換樹脂（下層），亞硫酸根、硝酸根、氯離子、氟離子等陰離子在此從水中去除。