產(chǎn)品描述：

滑竿式CVD系統(tǒng)，由供氣系統(tǒng)+雙管管式爐+抽氣系統(tǒng)組成，采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料。該爐安裝有行程開關(guān)，當(dāng)爐蓋打開時(shí)會(huì)自動(dòng)切斷電源。 該爐爐底安裝一對(duì)滑軌，可用手推滑動(dòng)。加熱和冷卻速率可達(dá)100°C/min。為取得加熱，可以預(yù)先加熱爐子到設(shè)定的溫度，然后移動(dòng)爐子到樣品位置。為獲得冷卻，可在樣品加熱后移動(dòng)爐子到另一端。加熱和冷卻速率在真空或者惰性氣體環(huán)境下可以達(dá)到10°C/S，是低成本快速熱處理的理想爐子。

技術(shù)參數(shù)：

1.額定溫度：1150℃                                             2.溫度：1200℃

3.電壓：220V                                                   4.加熱段：440mm     

5.熱電偶：K型                                                 6.功率：3.5KW                              

7.溫控方式：智能化30段可編程控制                              8.加熱元件：瑞典Kanthal-A1電阻絲  

9.升溫速率：≤20℃/min    推薦升溫速率：≤10℃/min      

組件配置：

控溫儀表： 采用宇電程序控溫儀表

1、50段程序控溫智能PID調(diào)節(jié)。

具有過溫保護(hù)、斷偶保護(hù)，過溫或斷偶時(shí)電爐加熱電路會(huì)自動(dòng)切斷，（當(dāng)電爐溫度超過1620度或熱電偶燒斷時(shí)，主電路上的交流繼電器會(huì)自動(dòng)斷開，主電路斷開，面板上ON燈熄滅，OFF燈亮，有限的保護(hù)電爐）。

3、帶有485 通訊接口（選購軟件時(shí)標(biāo)配）

4、具有斷電保護(hù)功能，即斷電后再給電啟動(dòng)爐子時(shí)、程序不是從起始溫度開始升、而是從斷電時(shí)爐溫開始升。

5、儀表具有溫度自整定的功能

二、開門保護(hù)系統(tǒng)：該爐安裝有行程開關(guān)，當(dāng)爐蓋打開時(shí)會(huì)自動(dòng)切斷電源，有效地保證使用者的安全。

三、爐膛材料：采用氧化鋁纖維爐膛材料，不掉粉、材料保溫性能好、反射率高、溫場(chǎng)均衡，抗熱漲冷縮能力強(qiáng)。

四、加熱元件：采用優(yōu)質(zhì)發(fā)熱元件，使用壽命長。

五、漏電保護(hù)功能： 該爐裝了漏電空氣開關(guān)，當(dāng)爐體漏電或電流超過額定電流時(shí)空開會(huì)自動(dòng)關(guān)閉以切斷電源。

六、軟件控制系統(tǒng)（選購）：該爐配有通訊接口和軟件，可以直接通過電腦控制爐子的各個(gè)參數(shù)，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運(yùn)行情況，爐子的實(shí)際升溫曲線電腦會(huì)實(shí)時(shí)繪出，并能把每個(gè)時(shí)刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來，隨時(shí)可以調(diào)出。

七、控制系統(tǒng)：1、電器：正泰，    2、可控硅：德國西門康106/16E，   3 觸發(fā)器：移相觸發(fā)。

技術(shù)參數(shù)表（詳細(xì)技術(shù)資料請(qǐng)聯(lián)系業(yè)務(wù)人員，可接受定做）