SEM-N系列聚酰亞胺固化烤箱是一種清潔工藝烘箱，專為聚酰亞胺硬烘烤和固化應(yīng)用而設(shè)計(jì)。

許多半導(dǎo)體制造環(huán)境的前端機(jī)器適用于聚酰亞胺固化。

這種昂貴的工藝導(dǎo)致設(shè)備在清潔度，惰性氣氛能力，循環(huán)時(shí)間或數(shù)據(jù)采集方面通常不適合聚酰亞胺固化。

SEM-N系列烤箱優(yōu)化了半導(dǎo)體的聚酰亞胺固化工藝

晶圓器件。它可以縮短周期時(shí)間，并為產(chǎn)品負(fù)載中的所有晶圓提供一致，可重復(fù)的固化過(guò)程。我們?yōu)镾EM-N系列烤箱設(shè)計(jì)了一個(gè)壓力釋放系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括一個(gè)可拆卸的“冷阱"，一個(gè)易于清潔的冷凝水收集器，有助于防止聚酰胺在爐內(nèi)排氣中積聚。

標(biāo)準(zhǔn)功能：

u 再循環(huán)空氣100％通過(guò)99.99％HEPA過(guò)濾器過(guò)濾，用于ISO 5級(jí)（100級(jí)）或高的操作

u 集成的PC 接口，具有實(shí)時(shí)圖形顯示功能

u 氧氣監(jiān)控系統(tǒng)

u 16千瓦加熱器容量

u 自動(dòng)水控制，帶不銹鋼水冷盤(pán)管

u 溫度可達(dá)（450°C）

u 快速循環(huán)時(shí)間，每分鐘5°C

u 溫度均勻性為±1％

u 每層23千克