德國ILMVAC（伊爾姆） MPC系列防腐型隔膜真空泵，是干式運(yùn)行的真空泵，完了真空泵的抗化學(xué)腐蝕問題。它特別適用于需要抗化學(xué)腐蝕或需要長時(shí)間不間斷運(yùn)行的場合。所有與氣體接觸的部位都做特氟龍（聚四氟乙烯PTFE）處理并用碳纖維加固，*保證了泵的抗化學(xué)腐蝕性能。隔膜采用三明治結(jié)構(gòu)（即多層結(jié)構(gòu)），以增加隔膜的韌性和強(qiáng)度。隔膜泵是目前國際真空泵發(fā)展的前沿產(chǎn)品，并在國內(nèi)被越來越廣泛地使用。