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詳細(xì)介紹
- 蒸汽壓力監(jiān)視功能作為標(biāo)準(zhǔn)配置，可在更換母罐期間檢查吹掃效率
- 可選配稱重傳感器，監(jiān)視母罐中殘余液體總量
- LU-A1000 系列設(shè)計(jì)緊湊，采用集成氣體系統(tǒng)，與傳統(tǒng)配件相比，可顯著減小尺寸
- 日常維護(hù)時(shí)輕松更換部件
- 脫氣器模塊為標(biāo)準(zhǔn)配置，可降低液體鼓泡風(fēng)險(xiǎn)，適用于各種汽化系統(tǒng)，包括注入和烘烤應(yīng)用
- 安全標(biāo)準(zhǔn)：SEMI S2/S8/S14, CE 標(biāo)志
- 安全改善：多樣化的監(jiān)視設(shè)備提供全自動(dòng)控制。LU-A1000 系列配備了自動(dòng)緊急關(guān)機(jī)功能，一旦系統(tǒng)出現(xiàn)故障，該功能將被啟動(dòng)
- 可操作性改進(jìn)：操作步驟全自動(dòng)化，防止操作失誤。操作也可以通過(guò)設(shè)備前端的觸控面板來(lái)控制
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