顯微光致發(fā)光光譜儀，用于穩(wěn)態(tài)光譜和壽命測量  晶圓表面缺陷快速分析

MicOS顯微系統(tǒng)可提供完整的顯微光譜測量解決方案，它主要包括一個直接與光譜耦合的顯微探測頭和一個高性能三光柵成像光譜儀，該光譜儀可同時接三個探測器。

• 覆蓋200nm-1600nm的寬光譜范圍，可廣泛應(yīng)用于各類材料的測量
• 的內(nèi)置數(shù)碼相機(jī)設(shè)計，可以實時觀察樣品
• 可提供物鏡朝下或物鏡側(cè)向的兩種配置選擇，便于測量放置在正置低溫恒溫器中的樣品
• 能與多種激光波長匹配，擁有的靈活性，并且易于操作
• 晶圓表面缺陷快速分析
  
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