詳細(xì)介紹
- 壓力不敏感性能
高性能壓力補(bǔ)償新功能簡(jiǎn)化了供氣系統(tǒng) - 多量程、多氣體、多壓力解決方案
新功能允許用戶改變氣體類型、滿量程流量和供壓范圍 - G-LIFE(集成限流器方程的氣體定律校驗(yàn))自診斷功能
的工藝健康監(jiān)控功能允許操作人員自行進(jìn)行測(cè)試,即使提高通過量,通常也能在三秒或更短的時(shí)間內(nèi)完成測(cè)試。 - 高精度
的三維調(diào)整功能提高了工藝氣的流量精度 - 快速響應(yīng)
響應(yīng)時(shí)間:< 0.8 秒
可實(shí)現(xiàn)精確、穩(wěn)定的流量控制 - 動(dòng)態(tài)范圍
控制范圍廣:0.2% 滿量程 至 99% 滿量程
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