優(yōu)異的光學(xué)性能

STM7系列采用了當(dāng)前*光學(xué)顯微鏡中所使用的UIS2無限遠(yuǎn)校正光學(xué)系統(tǒng)。因此，觀察到的圖像具有高分辨率和高對比度，此外，像差也被消除，以確保實(shí)現(xiàn)對微小細(xì)節(jié)的高精度測量。

提供操作友好、高精度的3軸測量

隨著現(xiàn)代制造技術(shù)日益小型化和精密化，高精度測量也日趨重要——不近是XY軸平面的測量，而且Z軸方向的高精度測量也成為必須。奧林巴斯成為一家成功開發(fā)了測量顯微鏡用采用主動(dòng)反射、共聚焦方法的自動(dòng)聚焦系統(tǒng)的公司，以此響應(yīng)了這種與日俱增的需求。

嚴(yán)格的可追溯系統(tǒng)確保品質(zhì)可靠

奧林巴斯通過一個(gè)嚴(yán)格的可追溯系統(tǒng)控制測量顯微鏡的精確度。并且在安裝系統(tǒng)時(shí)奧林巴斯也提供了可追溯的校準(zhǔn)服務(wù)。

適合多種樣品的載物臺

STM7的特色就是配備有一個(gè)可以測量大型樣品（包括300 mm晶圓和印刷電路板等）的300 mm×300 mm的載物臺。7提供了相同X和Y軸測量行程的大載物臺，這樣對于大樣品就不需要旋轉(zhuǎn)樣品。由于X和Y軸的測量行程都比較長，可以將多個(gè)樣品排列在載物臺上，實(shí)現(xiàn)更有效的測量。

具有優(yōu)異的重復(fù)性的便捷、精確的聚焦系統(tǒng)

通過將圖案投影在視場范圍內(nèi)，由操作者確認(rèn)上下圖案的重合情況，奧林巴斯的聚焦導(dǎo)航系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)了重復(fù)性高的高度測量操作。普通的目測觀察進(jìn)行高度測量時(shí)，即使是看上去非常清晰的已經(jīng)合焦的圖像，也會(huì)出現(xiàn)微小誤差。而使用STM7的聚焦導(dǎo)航系統(tǒng)，只需匹配標(biāo)記便可進(jìn)行測量，因此減少了操作者的主觀性對測量結(jié)果造成的影響。

可以消除測量過程中主觀性影響的便捷功能

自動(dòng)邊緣檢測這個(gè)功能檢測樣品的邊緣，自動(dòng)獲取樣品的坐標(biāo)并測量。因此，操作者不再需要坐標(biāo)，這較大程度地降低了操作者的主觀性對測量的影響。自動(dòng)邊緣檢測的另外一個(gè)特色是具有定時(shí)功能，實(shí)現(xiàn)了到規(guī)定的時(shí)間后自動(dòng)獲取坐標(biāo)。定時(shí)功能和腳踏開關(guān)功能，使操作者能夠在手不需要離開載物臺手柄的情況下專心測量。