全自動半導體檢查顯微鏡 MX61A　規(guī)格 

光學系統(tǒng) 

UIS2光學系統(tǒng)（無限遠校正） 

機身 

觀察方法 

明視場/暗視場/微分干涉/簡易偏振光/熒光 

反射/透射 

反射 

照明裝置 

機身一體型（明視場、暗視場＋1選件） 

照明系統(tǒng) 

反射照明 

100 W鹵素/100 W水銀/75 W氙 

透射照明 

- 

對焦單元 

電動/手動 

電動 

行程 

25.4 mm 

分辨率/微調(diào)靈敏度 

分辨率0.01 μm 

樣本高度 

24 mm 

物鏡轉(zhuǎn)換器 

電動型 

明視場微分干涉6孔 

明暗視場微分干涉5孔 

明暗視場微分干涉6孔 

明暗視場微分干涉中心補正5孔 

手動式 

- 

載物臺 

行程 

14×12英寸右下手柄：356（X）×305（Y）mm 
8×8 英寸右下手柄：210（X）×210（Y）mm 

觀察筒 

廣角視場（視場數(shù)22） 

倒置 

- 

正像 

- 

超寬視場（視場數(shù)26.5） 

倒置 

- 

正像 

傾斜三目觀察筒 

附件單元 

自動調(diào)焦/DUV單元/IR單元/電動載物臺/自動裝載 

外形尺寸 

711（W）×853（D）×552（H）mm（標準組合） 

重量 

56 kg（標準組合）