詳細介紹
MX63/MX63L半導(dǎo)體FPD/工業(yè)檢測顯微鏡通過各種觀察方法--明視場法、暗視場法、微分干涉法(DIC)、熒光法、紅外線法和深紫外線法,保證了的圖像分辨率和鮮明度。
· 考慮了檢查效率的設(shè)計
· 鮮明圖像和的分辨率為特點的光學(xué)系
· 軟件方案
· 支持缺陷檢測的多種功能
· 幫助實現(xiàn)多種觀察的附件
| MX63 | MX63L | ||
| 光學(xué)系統(tǒng) | UIS2光學(xué)系統(tǒng)(無限遠校正系統(tǒng)) | ||
| 顯微鏡鏡架 | 反射光照明 | 白光LED (帶有光強度控制器) 12伏100瓦鹵素?zé)?/span>, 100瓦汞燈 明場/暗場/分光鏡組件手動切換。(反射鏡分光鏡組件為選配件。) | |
| 透射光照明 | 透射光照明裝置:需使用MX-TILLA或MX-TILLB。 | ||
| 聚焦 | 行程:32毫米 | ||
| 載荷重量(包括載物臺和支架) | 8公斤 | 15公斤 | |
| 觀察筒 | 寬視場(FN 22毫米) | 正像三目鏡筒:U-ETR4 | |
| 超寬視場(FN 26.5毫米) | 正像可調(diào)傾角三目鏡筒:MX-SWETTR (光程切換99% (目鏡) : 0 (相機) 或 0 : 99%) | ||
| 電動物鏡轉(zhuǎn)換器 | 明場 明場和暗場 | ||
| 載物臺 (X × Y) | 帶內(nèi)置離合驅(qū)動的同軸右手柄:MX-SIC8R 帶內(nèi)置離合驅(qū)動的同軸右手柄:MX-SIC6R2 | 帶內(nèi)置離合驅(qū)動的同軸右手柄:MX-SIC1412R2 | |
| 重量 | 約35.6公斤 (顯微鏡架26公斤) | 約44公斤 (顯微鏡架28.5公斤) | |
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